(1) Приставка в Международной системе единиц (СИ) для nano-

Save this PDF as:
 WORD  PNG  TXT  JPG

Размер: px
Начинать показ со страницы:

Download "(1) Приставка в Международной системе единиц (СИ) для nano-"

Транскрипт

1 Тема 2. Метрология наноструктур (2 часа). Метрология (от греч. métron - мера и lógos - учение) не только наука о методах и средствах измерений, но и обеспечение единства измерений, включающее стандартизацию единиц физических величин, их воспроизведение с наивысшей точностью с помощью Первичных эталонов, а также передача размеров таких единиц иерархическим образом всем средствам измерений. Нанометрология наука, отличающаяся измерениями, методами и средствами их обеспечения единствами и способами достижения требуемой точности в диапазоне нанометров. Нанометрология включает в себя теоретические и практические аспекты метрологического обеспечения единства измерений в нанотехнологиях, в том числе: эталоны физических величин и эталонные установки, стандартные образцы состава, структуры и свойств для обеспечения передачи размера единиц физических величин в нанодиапазон; стандартизованные методики измерений физико-химических параметров и свойств объектов нанотехнологий, а также методы калибровки самих средств измерений, применяемых в нанотехнологиях; метрологическое сопровождение технологических процессов производства материалов, структур, объектов и иной продукции нанотехнологий. Терминология по наноматериалам и нанотехнологиям в настоящее время только устанавливается. В таблице 2.1 приведены основные термины и понятия относящиеся к нанометрологии и наноиндустрии. Таблица 2.1. Основные понятия в нанометрологии. нано- (1) Приставка в Международной системе единиц (СИ) для nano- обозначения дольных единиц, соответствующая множителю 10-9 (ГОСТ , п. 7.1) Пример: 1 нм = 10-9 м (2) приставка, указывающая на то, что характерный размер объекта находится в диапазоне нм. Пример: наночастица, наноструктура (3) приставка к названию (например, приставка к названию материала, объекта,

2 Наноиндустрия nanoindustry Наноинженерия (нанотехника) nanoengineering Нанометр nanometer Нанометровый диапазон nanometer range Нанометрология nanometrology Нанонаука (наука о нанообъектах) nanoscience Нанообъект nanoobject процесса или прибора), названию материала, объекта, процесса или прибора, относящийся к области, определяемой как панотехнология или наука о нанообъектах. Отрасль промышленности, занятая производством наноматериалов, наноструктур, наноустройств и других видов продукции, в которых определяющим их эксплуатационные показатели является применение нанотехнологий. Область техники, предметом которой является конструирование и изготовление изделий, имеющих, по крайней мере, по одному из измерений линейный размер от 1 до 100 нм. Дольная единица длины в Международной системе единиц, 1 нм = 10-9 м. Диапазон линейных размеров от 1 до 1000 нм. Наука об измерениях, методах и средствах обеспечения их единства и способах достижения требуемой точности при исследовании нанообъектов. Область научных исследований, предметом которых является изучение способов получения, изучение свойств и применение нанообъектов и наноматериалов. В зависимости от области и методов исследований различают нанохимию, наноэлектронику и пр. Материальный объект (естественный или созданный средствами нанотехнологий), имеющий, по крайней мере, по одному из измерений линейный размер от 1 до 100 нм.

3 Наноразмер nanosize Наносистемная техника nanosystem engineering Нанослой nanolayer Наноструктура nanostructure Нанотехнология nanotechnology Размер в диапазоне нм. Полностью или частично созданные на основе наноматериалов и нанотехнологий функциональнозаконченные системы и устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от показателей систем и устройств аналогичного назначения, созданных по традиционной технологии. Слой, толщина которого не превосходит 100 нм. Структура, у которой характерный размер, по крайней мере, по одному из изменений менее лежит в диапазоне от 1 до 100 нм. Общий термин, объединяющий технологии, методы и процессы, включающие как необходимый этап манипуляции с веществом на молекулярном (атомном) уровне, а также технологии создания систем, имеющих, по крайней мере, по одному из измерений, линейный размер от 1 до 100 нм. Эти системы могут обладать совершенно новыми физическими и химическими характеристиками, в результате чего их свойства будут отличаться как от свойств отдельных атомов и молекул, так и от свойств массивного материала. (Формулировка ТС 229IISO). Совокупность методов и приёмов, обеспечивающих возможность контролируемым образом создавать и модифицировать объекты, включающие компоненты с размерами менее 100 нм, хотя бы в одном измерении, и в результате этого получившие принципиально новые качества, позволяющие осуществить их интеграцию в

4 Наночастица nanoparticle Наношкала nanoscale Размерность (нанообъекта) dimension, dimensionality, number of dimensions полноценно функционирующие системы большого масштаба; в более широком смысле этот термин охватывает также методы диагностики, характерологии и исследований таких объектов. Термин, относящийся к широкому спектру различных технологий (технологических процессов) при которых производятся измерения характеристик, манипулирование, конструирование (синтез) объектов, обладающих по крайне мере по одному из измерений линейным размером от 1 до 100 нм. Частица, линейные размеры которой по каждому из трех измерений более 1 и менее 100 нм. Интервал линейных размеров от 1 до 100 нм. Число степеней свободы электронного газа в твердых нанообъектах (размерность делокализации) или число отсутствующих степеней свободы, по сравнению с объемным объектом (размерность локализации). Изменение числа степеней свободы обусловлено геометрическими размерами соответствующего объекта в различных измерениях. Следует отметить, что наряду с термином наноматериалы, который к настоящему времени получает все более широкое применение, получили распространение также равноправные термины «ультрадисперсные материалы», «ультрадисперсные системы» (в отечественной литературе) и «наноструктурные материалы» (в западных источниках). К наноматериалам условно относят дисперсные и массивные материалы, содержащие структурные элементы (зерна, кристаллиты, блоки, кластеры и т.п.), геометрические размеры которых хотя бы в одном измерении не превышают 100

5 нм, и обладающие качественно новыми функциональными и эксплуатационными характеристиками. Существует несколько подходов к определению понятия «наноматериал» (рис. 2.1). Первый подход связан с геометрическими параметрами, в соответствии с которым материалы с характерным размером структурных элементов в диапазоне от 1 до 100 нм называют наноструктурными. Технологические подходы к понятию наноматериалов Геометрические размеры Критический размер для Доля границ раздела ΔV гр 50% ΔV гр ~ 3s/D при ширине приграничной области s ~1 нм Возникновение нового качества при уменьшении V вещества или его компоненты по 1,2 или 3 Комплексный подход содержание в материалах структурных элементов с D < 100 нм хотя бы в одном измерении и обладающие качественно новыми характеристиками Рис Терминологические подходы к понятию наноматериалов. Нижняя граница диапазона обусловлена критическим размером существования нанокристаллического материала, как структурного элемента, имеющего упорядоченное строение, то есть кристаллическую решетку. Такой критический размер, в частности, для железа составляет около 0,5 нм. Верхняя граница диапазона обусловлена тем, что заметные и интересные с технической точки зрения изменения физико-механических свойств материалов (прочности, твердости, коэрцитивной силы и др.) начинаются при размерах наноструктурных элементов существенно меньше 100 нм.

6 Второй подход связан со значительной ролью в формировании свойств наноматериалов многочисленных поверхностей раздела. При этом наибольшее изменение свойств происходит в случае, когда объемная доля поверхностей раздела в общем объеме материала составляет более 50%. Третий подход основан на понятии характерного размера для определенного физического явления: для прочностных свойств это будет размер бездефектного кристалла; для магнитных свойств размер однодоменного кристалла; для электропроводности длина свободного пробега электронов. Считается, что если при уменьшении объема какого-либо вещества по одной, двум или трем координатам до размеров нанометрового масштаба возникает новое качество, или это качество возникает в композиции из таких объектов, то эти образования следует отнести к наноматериалам, а технологии их получения и дальнейшую работу к нанотехнологиям. В соответствии с терминологией наноматериалы можно разделить на четыре основные категории (рис. 2.2).

7 Наноматериалы Наноизделия характерный Микроизделелия характерный размер не более 1 2 Массивные наноматериалы - нанопорошки - нанопроволоки - нановолокна - тонкие пленки - нанотрубки - проволоки - ленты - фольги Однофазные (микроструктурно - стекла - гели - пересыщенные твердые растворы Многофазные (микроструктурн - сложные сплавы и керамики Композиты с компонентами из наноматериалов с наноизделиями - с нановолокнами - с наноцастицами - с ионно модифицированной поверхностью с микроизделиями - с наноструктурными - волокнами и/или - частицами - с наноструктурными покрытиями или слоями со сложным сочетанием Рис Классификация наноматериалов. 1. Первая категория включает материалы в виде твердых тел, размеры которых в одном, двух или трех пространственных координатах не превышают 100 нм. К таким материалам можно отнести наноразмерные частицы (нанопорошки), нановолокна, нанопроволоки, очень тонкие пленки (толщиной менее 100 нм), нанотрубки и т. п. Такие материалы могут содержать от одного структурного элемента или кристаллита (для частиц порошка) до нескольких их

8 слоев (для пленки). В связи с этим первую категорию можно классифицировать как наноматериалы с малым числом структурных элементов или наноматериалы в виде наноизделий. 2. Вторая категория включает в себя материалы в виде малоразмерных изделий с характеризующим размером в примерном диапазоне 1 мкм 1 мм. Обычно это проволоки, ленты, фольги. Такие материалы содержат уже значительное число структурных элементов, и их можно классифицировать как наноматериалы с большим числом структурных элементов (кристаллитов) или наноматериалы в виде микроизделий. 3. Третья категория представляет собой массивные (или иначе объемные) наноматериалы с размерами изделий из них в макродиапазоне (более нескольких миллиметров). Такие материалы состоят из очень большого числа наноразмерных элементов (кристаллитов) и фактически являются поликристаллическими материалами с размером зерна нм. В свою очередь третью категорию наноматериалов можно разделить на два класса: в первый класс входят однофазные материалы, структура и (или) химический состав которых изменяется по объему материала только на атомном уровне. Они находятся в неравновесном состоянии. К таким материалам относятся, например, стекла. ко второму классу можно отнести многофазные материалы, например, на основе сложных металлических сплавов. 4. Четвертая категория включает композиционные материалы, содержащие в своем составе компоненты из наноматериалов из первой категории и второй категории. Свойства наноматериалов в значительной степени определяются характером распределения, формой и химическим составом кристаллитов (наноразмерных элементов), из которых они состоят. В связи с этим целесообразно классифицировать структуры наноматериалов по этим признакам (рис. 2.3). По форме кристаллитов наноматериалы можно разделить на слоистые

9 (пластинчатые), волокнистые (столбчатые) и равноосные. Разумеется, толщина слоя, диаметр волокна и размер зерна при этом принимают значения порядка 100 нм и менее. Исходя из особенностей химического состава кристаллитов и их границ, обычно выделяют четыре группы наноматериалов. К первой относят такие материалы, у которых химический состав кристаллитов и границ раздела одинаковы, их называют также однофазными. Рис Основные типы структуры наноматериалов. Примерами таких материалов являются чистые металлы с нанокристаллической равноосной структурой и слоистые поликристаллические полимеры. Ко второй группе относят материалы, у которых состав кристаллитов различается, но границы являются идентичными по своему химическому составу. Третья группа включает наноматериалы, у которых как кристаллиты, так и границы имеют различный химический состав. Четвертую группу представляют наноматериалы, в которых наноразмерные выделения (частицы, волокна, слои) распределены в матрице, имеющей другой химический состав. К этой группе относятся в частности дисперсно-упрочненные материалы.

10 Рассматриваются вопросы разработки методов и средств измерений линейных размеров элементов в субмикронной и нанометровой областях. При этом учитываются перспективы уменьшения критического размера элемента микросхемы (минимального размера элемента, например, ширины затвора полевых транзисторов) от 0,35 до 0,07 мкм при сохранении погрешности их измерения в контрольной операции до 1% номинального размера, ужесточение точности совмещения топологических рисунков, уменьшение шага металлической разводки от 1,0 до 0,3 мкм. Создание новой техники, наукоемких технологий и новых материалов, обеспечивающих коренные сдвиги в структуре и техническом уровне производства, а также выход отечественного производства на мировой уровень, в значительной мере сдерживается недостаточным уровнем метрологического обеспечения. Из-за отставания техники сверхточных измерений на атомном и молекулярном уровнях, отсутствия специальных исходных методов и средств обеспечения единства прецизионных измерений затянулось внедрение высших экологически чистых перспективных технологий в базисных отраслях экономики. Интенсивное развитие нанотехнологии требует создания системы метрологического обеспечения измерений, в первую очередь, длины в нанометровом диапазоне. Большинство средств измерений длины в нанометровом диапазоне, обеспечивающих достижение предельных возможностей измерений, основано на таких физических принципах, как растровая электронная и оптическая микроскопия, сканирующая зондовая микроскопия, лазерная интерферометрия и фазометрия. Ряд приборов, реализующих тот или иной физический принцип, используется в нанотехнологии, а также в качестве инструмента для создания наноструктур.

11 В обеспечение единства линейных измерений в нанометровом диапазоне в России разработаны и введены в действие в 2008 г. семь национальных стандартов: три регламентируют процедуры изготовления и аттестации линейных мер с шириной линии в нанометровом диапазоне; четыре процедуры поверки и калибровки атомно-силовых (АСМ) и растровых электронных (РЭМ) микроскопов, предназначенных для измерений линейных размеров рельефных наноструктур. 1. ГОСТ Р Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления. Для проведения линейных измерений в диапазоне от 10-9 до 10-6 м используют растровые электронные или сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы (далее микроскопы). Для их поверки и калибровки применяют материальные носители единицы длины (далее меры), размеры элементов которых определяют, используя стабилизированное по частоте лазерное излучение. Длину волны лазерного излучения поверяют с помощью эталона длины. На практике в качестве мер применяют рельефные меры нанометрового диапазона (далее рельефные меры), представляющие собой пластину из монокристаллического кремния, на поверхности которой сформированы элементы рельефа определенной геометрической формы с размерами основных элементов не более от 10-6 м. В основе технологического процесса создания рельефных мер лежит использование анизотропного травления монокристаллического кремния: скорость травления в направлении одной из кристаллографических плоскостей в кристаллической структуре кремния в несколько тысяч раз превышает скорость травления в направлении другой кристаллографической плоскости. Угол между кристаллографическими плоскостями определен кристаллической структурой кремния. В результате формируются пространственные геометрические фигуры

12 с известным углом наклона между боковыми стенками и основаниями. Ориентацию рабочей поверхности пластины, на которой формируются элементы рельефа, определяют рентгеновским дифракционным методом по методике, установленной в ГОСТ Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м. Стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов. 2. ГОСТ Р Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р Рельефные меры применяют при измерении линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м. Стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер. Межповерочный интервал рельефной меры один год. 3. ГОСТ Р Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки. Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомносиловые измерительные микроскопы (далее микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает

13 методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р и ГОСТ Р Межповерочный интервал микроскопа один год. 4. ГОСТ Р Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки. Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (далее РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р и ГОСТ Р Межповерочный интервал РЭМ 6 мес. 5. ГОСТ Р Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомносиловые. Методика калибровки. Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомносиловые микроскопы (далее микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 9 до 10 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием мер по ГОСТ Р и ГОСТ Р ГОСТ Р Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки. Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее - РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р и ГОСТ Р ГОСТ Р Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее рельефные меры),

14 линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 9 до 10 6 м. Стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер. Вопросы для самоконтроля 1. Главная задача нанометрологии. 2. Основные понятия в нанометрологии. 3. Основными документами по нанотехнологиям в России являются? 4. Направления работ в области нанометрологии. 5. В чем заключается метрологическое обеспечение единства измерений в нанотехнологиях?

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ГОСТ Р (ПРОЕКТ, ПЕРВАЯ РЕДАКЦИЯ) Государственная система обеспечения единства измерений МЕРЫ

Подробнее

Основы нанохимии и нанотехнологии

Основы нанохимии и нанотехнологии ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Уральский государственный университет им. А.М. Горького» ИОНЦ «Нанотехнологии и перспективные

Подробнее

Перечень межгосударственных и национальных стандартов Российской Федерации в наноиндустрии

Перечень межгосударственных и национальных стандартов Российской Федерации в наноиндустрии п/п Перечень межгосударственных и национальных стандартов Российской Федерации в наноиндустрии Обозначение стандарта Наименование стандарта 1. ГОСТ 8.591- Государственная система обеспечения единства диапазона

Подробнее

ГОСТ Р / ISO/TS : 2010

ГОСТ Р / ISO/TS : 2010 ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й С Т А Н Д А Р Т Р О С С И Й С К О Й Ф Е Д Е Р А Ц И И ГОСТ Р 55416-2013/ ISO/TS 80004-1: 2010 НАНОТЕХНОЛОГИИ Ч а

Подробнее

Нанометрология ключевое звено инфраструктуры нанотехнологий

Нанометрология ключевое звено инфраструктуры нанотехнологий ТРУДЫ МФТИ. 2011. Том 3, 4 П. А. Тодуа 81 УДК 006.91 П. А. Тодуа Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (НИЦПВ), Московский физико-технический институт (государственный

Подробнее

1. Êëàññèôèêàöèÿ äèñïåðñíûõ ñèñòåì

1. Êëàññèôèêàöèÿ äèñïåðñíûõ ñèñòåì 1. Êëàññèôèêàöèÿ äèñïåðñíûõ ñèñòåì В настоящее время в сфере изучения и производства дисперсных систем применяется большое количество терминов. В том случае, когда структурные и морфологические элементы

Подробнее

«Фундаментальные основы нанотехнологий»

«Фундаментальные основы нанотехнологий» Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова Научно-образовательный центр по нанотехнологиям межфакультетский курс лекций «Фундаментальные основы нанотехнологий» Лекция 2: Методы исследования

Подробнее

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Уральский государственный университет им. А.М. Горького» ИОНЦ «Нанотехнологии и перспективные

Подробнее

Формирование баз данных в области метрологического обеспечения нанотехнологий и продукции наноиндустрии

Формирование баз данных в области метрологического обеспечения нанотехнологий и продукции наноиндустрии Формирование баз данных в области метрологического обеспечения нанотехнологий и продукции наноиндустрии С.Ю. Золотаревский, заместитель директора ВНИИОФИ по научной работе, С.А. Кононогов, директор ВНИИМС,

Подробнее

УДК Обзор существующих способов получения ультрадисперсных и нанопорошков, их преимущества и недостатки

УДК Обзор существующих способов получения ультрадисперсных и нанопорошков, их преимущества и недостатки УДК 620.762.2-022.532 Обзор существующих способов получения ультрадисперсных и нанопорошков, их преимущества и недостатки Ю. В. Титов, Д. С. Реченко, А. Ю. Попов, А.С. Демочко Омский государственный технический

Подробнее

НАНОМЕТРОЛОГИЯ И СТАНДАРТИЗАЦИЯ В НАНОТЕХНОЛОГИЯХ

НАНОМЕТРОЛОГИЯ И СТАНДАРТИЗАЦИЯ В НАНОТЕХНОЛОГИЯХ НАНОМЕТРОЛОГИЯ И СТАНДАРТИЗАЦИЯ В НАНОТЕХНОЛОГИЯХ П.Тодуа fgupnicpv@mail.ru История науки и техники неразрывно связана с развитием системы, методов и средств измерений. Нанотехнологии поставили новые специфические

Подробнее

Электронный архив УГЛТУ

Электронный архив УГЛТУ В результате совокупного действия уплотнения и особенностей строения осины в наружных слоях уплотненной древесины создается клеевой слой, обеспечивающий достаточно хорошее качество склеивания. При увеличении

Подробнее

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 10"9 ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 109 ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ НАЦИОНАЛЬНЫМ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ГО С ТР 8.7 6 3-2011 Государственная система обеспечения единства измерений ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ

Подробнее

Содержание. Предисловие автора 12. Предисловие редактора русского перевода 14. Глава 1. Введение 17

Содержание. Предисловие автора 12. Предисловие редактора русского перевода 14. Глава 1. Введение 17 Содержание Предисловие автора 12 Предисловие редактора русского перевода 14 Глава 1. Введение 17 Глава 2. Введение в физику твердого тела 23 2.1. Атомарная структура 23 2.1.1. Размерные эффекты 23 2.1.2.

Подробнее

Требования к уровню освоения учебного курса

Требования к уровню освоения учебного курса Программа краткосрочного повышения квалификации преподавателей и научных работников высшей школы по направлению «Планарные материалы (пленки и покрытия, интерфейсы, молекулярные слои, гетероструктуры)

Подробнее

МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ

МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ГОСТ Р (ПРОЕКТ, ПЕРВАЯ РЕДАКЦИЯ) Государственная система обеспечения единства измерений МИКРОСКОПЫ

Подробнее

1. ЦЕЛИ ОСВОЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ

1. ЦЕЛИ ОСВОЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ 1. ЦЕЛИ ОСВОЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ Целью освоения дисциплины является изучение теоретических основ нанометрологии и современных методов обеспечения единства наноизмерений. 2. МЕСТО ДИСЦИПЛИНЫ В СТРУКТУРЕ ОПОП

Подробнее

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ГОСТ Р (ПРОЕКТ, ПЕРВАЯ РЕДАКЦИЯ) Государственная система обеспечения единства измерений МЕРЫ

Подробнее

Иcтория развития науки и техники неразрывно связана

Иcтория развития науки и техники неразрывно связана технологическое оборудование и технологии МЕТРОЛОГИЯ П.Тодуа, д.ф.-м.н., Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (НИЦПВ), Московский физико-технический институт (МФТИ),

Подробнее

Лекция 10. Современные материалы и конструкции

Лекция 10. Современные материалы и конструкции Лекция 10 Современные материалы и конструкции 1 Современные конструкционные материалы 2 НАНОМАТЕРИАЛЫ К наноматериалам условно относят дисперсные и массивные материалы, содержащие структурные элементы

Подробнее

Понятие нанотехнологий

Понятие нанотехнологий Понятие нанотехнологий Любой материальный предмет - это всего лишь скопление атомов в пространстве. То, как эти атомы собраны в структуру, определяет, что это будет за предмет. С. Лем Первое упоминание

Подробнее

Опыт организации межвузовского обучения в области нанотехнологий

Опыт организации межвузовского обучения в области нанотехнологий Опыт организации межвузовского обучения в области нанотехнологий А.В. Заблоцкий 1, П.А. Тодуа 1, С.И. Мухин 2 1) Московский физико-технический институт 2) Московский институт стали и сплавов Межвузовское

Подробнее

Взаимодействие ускоренных электронов с веществом.

Взаимодействие ускоренных электронов с веществом. ПРОГРАММА 1 Исследования материалов методами электронной микроскопии и сканирующей зондовой микроскопии; основы рентгеновской дифракции в материаловедении Общая трудоемкость 128 ч. ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ

Подробнее

Исследование поверхностных структур плёнок алюминия

Исследование поверхностных структур плёнок алюминия Исследование поверхностных структур плёнок алюминия Автор Трусов Герман Валентинович Москва, лицей 1586 Москва, 2008 Цель, объект и задачи исследования Цель исследования -получение сведений о структуре

Подробнее

Метрологическое обеспечение в строительстве. Основные положения

Метрологическое обеспечение в строительстве. Основные положения Метрологическое обеспечение в строительстве. Основные положения Система качества предприятия должна предусматривать такие виды деятельности, как метрологическое обеспечение производства. Общим у них является

Подробнее

Основы нанохимии и нанотехнологии

Основы нанохимии и нанотехнологии ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Уральский государственный университет им. А.М. Горького» ИОНЦ «Нанотехнологии и перспективные

Подробнее

ТЕСТ-ОБЪЕКТЫ С ПРЯМОУГОЛЬНЫМ И ТРАПЕЦИЕВИДНЫМ ПРОФИЛЯМИ РЕЛЬЕФА ДЛЯ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ И АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

ТЕСТ-ОБЪЕКТЫ С ПРЯМОУГОЛЬНЫМ И ТРАПЕЦИЕВИДНЫМ ПРОФИЛЯМИ РЕЛЬЕФА ДЛЯ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ И АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ контроль и измерения В. Гавриленко, Ю. Новиков, А. Раков, П. Тодуа fgupnicpv@mail.ru ТЕСТ-ОБЪЕКТЫ С ПРЯМОУГОЛЬНЫМ И ТРАПЕЦИЕВИДНЫМ ПРОФИЛЯМИ РЕЛЬЕФА ДЛЯ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ И АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Подробнее

ПЕРЕЧЕНЬ межгосударственных и национальных стандартов Российской Федерации в наноиндустрии

ПЕРЕЧЕНЬ межгосударственных и национальных стандартов Российской Федерации в наноиндустрии п/п ПЕРЕЧЕНЬ межгосударственных и национальных стандартов Российской Федерации в наноиндустрии Обозначение стандарта Наименование стандарта Технический комитет 1 2 3 4 1. ГОСТ 8.591- Государственная система

Подробнее

Раздел дисциплины Лекции ПЗ (С) ЛР

Раздел дисциплины Лекции ПЗ (С) ЛР 1. Цели и задачи дисциплины: Цель: ознакомление с областью науки, связанной с получением, изучением физикохимических свойств наночастиц и наноматериалов. Задачи дисциплины: 1. изучить особенности получения

Подробнее

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук (ИК РАН)

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук (ИК РАН) Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук (ИК РАН) АННОТАЦИОННЫЙ ОТЧЕТ О НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ РАБОТЕ ПРОВЕДЕНИЕ ЦЕНТРОМ

Подробнее

АННОТАЦИЯ дисциплины (учебного курса) М1.В.3 Перспективные машиностроительные материалы (шифр и наименование дисциплины (учебного курса))

АННОТАЦИЯ дисциплины (учебного курса) М1.В.3 Перспективные машиностроительные материалы (шифр и наименование дисциплины (учебного курса)) 2 АННОТАЦИЯ дисциплины (учебного курса) М1.В.3 Перспективные машиностроительные материалы (шифр и наименование дисциплины (учебного курса)) Дисциплина знакомит магистрантов с основными современными исследованиями

Подробнее

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПОВЕРХНОСТЕЙ, МИКРОСТРУКТУРЫ И МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ УПРОЧНЕННЫХ ПОКРЫТИЙ КОНСТРУКЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПОВЕРХНОСТЕЙ, МИКРОСТРУКТУРЫ И МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ УПРОЧНЕННЫХ ПОКРЫТИЙ КОНСТРУКЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ УДК 620.1 Погодаев А.В. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПОВЕРХНОСТЕЙ, МИКРОСТРУКТУРЫ И МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ УПРОЧНЕННЫХ ПОКРЫТИЙ КОНСТРУКЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ Дальневосточный федеральный университет Надежность

Подробнее

РЕФЕРАТ. Отчет 260 с., 148 рис., 14 табл., 102 источника.

РЕФЕРАТ. Отчет 260 с., 148 рис., 14 табл., 102 источника. РЕФЕРАТ Отчет 260 с., 148 рис., 14 табл., 102 источника. ПОЛУМЕТАЛЛЫ, СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ, МЕМБРАННЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ, ПОРИСТЫЕ СТЕКЛА, НЕУПОРЯДОЧЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ, КОМПОЗИТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ, НИЗКОРАЗМЕРНЫЕ

Подробнее

«Фундаментальные основы нанотехнологий»

«Фундаментальные основы нанотехнологий» Московский Государственный Университет имени М. В. Ломоносова Научно-Образовательный Центр по нанотехнологиям Межфакультетский курс лекций «Фундаментальные основы нанотехнологий» Лекция 3. Методы исследования

Подробнее

МОДУЛЯЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ

МОДУЛЯЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ МОДУЛЯЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ А.В. Правдивцев, П.С. Игнатьев, К.В Индукаев, П.А. Осипов ООО «Лаборатории АМФОРА» avp@amphoralabs.ru +7 (495) 940-1909 В работе рассматриваются

Подробнее

åâúappleóîó Ëfl Ì ÌÓÚÂıÌÓÎÓ ËË

åâúappleóîó Ëfl Ì ÌÓÚÂıÌÓÎÓ ËË Метрология, стандартизация и контроль нанотехнологий УДК 621.3.049 åâúappleóîó Ëfl Ì ÌÓÚÂıÌÓÎÓ ËË П.А. Тодуа ОАО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума», 119421, г. Москва,

Подробнее

СОДЕРЖАНИЕ. Предисловие ко второму изданию...5

СОДЕРЖАНИЕ. Предисловие ко второму изданию...5 СОДЕРЖАНИЕ Предисловие ко второму изданию...5 Глава 1. Введение...11 1.1. Вступление...11 1.2. Появление нанотехнологии...14 1.3. Подходы «снизу вверх» и «сверху вниз»...18 1.4. Основные проблемы нанотехнологии...19

Подробнее

ЛЕКЦИЯ 1-2 Классификация методов исследования поверхности и приповерхностных слоев твердых тел.

ЛЕКЦИЯ 1-2 Классификация методов исследования поверхности и приповерхностных слоев твердых тел. ЛЕКЦИЯ 1-2 Классификация методов исследования поверхности и приповерхностных слоев твердых тел. Потребность исследования объектов имеющих размер несколько десятков нанометров в последнее десятилетие вызывает

Подробнее

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ГОСТ Р (ПРОЕКТ, ПЕРВАЯ РЕДАКЦИЯ) Государственная система обеспечения единства измерений МИКРОСКОПЫ

Подробнее

Композиционные материалы. Классификация и требования

Композиционные материалы. Классификация и требования Композиционные материалы Классификация и требования 1. Наполнитель и матрица Композиционные материалы (композиты) представляют собой гетерофазные системы, полученные из двух или более компонентов с сохранением

Подробнее

Рабочая программа дисциплины послевузовского профессионального образования (аспирантура) Моди

Рабочая программа дисциплины послевузовского профессионального образования (аспирантура) Моди МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова Физический факультет УТВЕРЖДАЮ Проректор по развитию образования Е.В.Сапир " " 2012 г. Рабочая

Подробнее

2. Объем дисциплины и виды учебной работы (в часах). Форма обучения - дневная Количество семестров 1 Форма контроля: экзамен 9 семестр

2. Объем дисциплины и виды учебной работы (в часах). Форма обучения - дневная Количество семестров 1 Форма контроля: экзамен 9 семестр Методические указания (пояснительная записка) Рабочая программа дисциплины «Новейшие результаты нанофизики» Предназначена для студентов дневного отделения 5 -го курса, 9 семестр по специальности: _Физика

Подробнее

Лабораторная работа 6

Лабораторная работа 6 Лабораторная работа 6 Определение методами просвечивающей электронной микроскопии параметров структуры материала с наноразмерными частицами второй фазы. Анализ механизмов упрочнения материала частицами

Подробнее

9. РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ, МАСС- СПЕКТРОМЕТРИЯ, РАССЕЯНИЕ СВЕТА

9. РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ, МАСС- СПЕКТРОМЕТРИЯ, РАССЕЯНИЕ СВЕТА 9. РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ, МАСС- СПЕКТРОМЕТРИЯ, РАССЕЯНИЕ СВЕТА Самый прямой способ определения размеров наночастиц это исследование на просвечивающем электронном микроскопе. Другой способ определения

Подробнее

Лабораторная работа 6. Механизмы упрочнения материала частицами второй фазы

Лабораторная работа 6. Механизмы упрочнения материала частицами второй фазы Лабораторная работа 6 Механизмы упрочнения материала частицами второй фазы Томск 2013 Рекомендуемая литература 1. Томас Г. Электронная микроскопия металлов. М.: Иностранная литература, 1963. - 347 с. 2.

Подробнее

Современные конструкционные материалы. Лекция 6. Наноструктурные материалы и покрытия

Современные конструкционные материалы. Лекция 6. Наноструктурные материалы и покрытия Современные конструкционные материалы Лекция 6. Наноструктурные материалы и покрытия Введение В настоящее время область исследования наноструктурных объектов является наиболее быстроразвивающейся, поскольку

Подробнее

Контур Института «ЛаПлаз» лаборатория взаимодействия плазмы с поверхностью и плазменных технологий. кафедра физики лазерного термоядерного синтеза

Контур Института «ЛаПлаз» лаборатория взаимодействия плазмы с поверхностью и плазменных технологий. кафедра физики лазерного термоядерного синтеза Москва: кафедра лазерной физики лазерный центр НИЯУ МИФИ кафедра физики плазмы лаборатория взаимодействия плазмы с поверхностью и плазменных технологий кафедра теоретической ядерной физики кафедра физики

Подробнее

Кристаллические решётки. Дегтярёва М.О. ЛНИП

Кристаллические решётки. Дегтярёва М.О. ЛНИП Кристаллические решётки Дегтярёва М.О. ЛНИП В твердых телах атомы могут размещаться в пространстве двумя способами Беспорядочное расположение атомов, когда они не занимают определенного места друг относительно

Подробнее

Метрология. Основные определения

Метрология. Основные определения Метрология. Основные определения 1 Свойство философская категория, выражающая такую сторону объекта (процесса, явления), которая обусловливает его общность или различие с другими объектами и обнаруживается

Подробнее

Спектроскопия комбинационного рассеяния света графена

Спектроскопия комбинационного рассеяния света графена Пятнадцатая научная конференция «Шаг в будущее, Москва» Кафедра ИУ4 МГТУ им. Н.Э. Баумана «Проектирование и технология производства электронно-вычислительных средств» Спектроскопия комбинационного рассеяния

Подробнее

График учебного процесса

График учебного процесса Федеральное агентство по образованию Пермский государственный университет Физический факультет Форма обучения очная УЧЕБНЫЙ ПЛАН 3558 Направление 222900.62 Нанотехнологии и микросистемная техника профиль

Подробнее

«Сканирующая зондовая микроскопия»

«Сканирующая зондовая микроскопия» Программа краткосрочного повышения квалификации преподавателей и научных работников высшей школы по направлению «Методы диагностики и исследования наноструктур» на базе учебного курса «Сканирующая зондовая

Подробнее

Физика конденсированного состояния

Физика конденсированного состояния МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова Физический факультет УТВЕРЖДАЮ Проректор по развитию образования Е.В.Сапир " " 2012 г. Рабочая

Подробнее

ОСНОВЫ НАНОТЕХНОЛОГИЙ

ОСНОВЫ НАНОТЕХНОЛОГИЙ Ю.И. ГОЛОВИН ОСНОВЫ НАНОТЕХНОЛОГИЙ МОСКВА «МАШИНОСТРОЕНИЕ» 2012 УДК 620.22 ББК 30.3 Г61 Г61 Головин Ю.И. Основы нанотехнологий. М.: Машиностроение, 2012. 656 с.: ил. ISBN 978-5-94275-662-8 Изложены физико-химические

Подробнее

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ УДК 621.3.049.77+621.385.833.2 VII Международный семинар г. Минск 1 3 ноября 2006 г. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ В. А. Пилипенко 1, Т. В. Петлицкая

Подробнее

Пятое измерение (школьники, разминка)

Пятое измерение (школьники, разминка) Пятое измерение (школьники, разминка) Размер имеет значение! Лучший способ познать это сравнить... Иногда путешествие «вглубь» материи по шкале масштабов называют путешествием по «пятому измерению» в дополнение

Подробнее

Наносенсоры. Введение

Наносенсоры. Введение Наносенсоры Введение Общие понятия Сенсор - прибор для наблюдения за объектом, процессом или средой, преобразующий физико-химические свойства в сигнал. Наносенсор сенсор, имеющий нанометровый (менее 100

Подробнее

образовательный центр «Нанотехнологии и наноматериалы» Тамбовского государственного университета имени Г.Р. Державина

образовательный центр «Нанотехнологии и наноматериалы» Тамбовского государственного университета имени Г.Р. Державина Научно-образовательный образовательный центр «Нанотехнологии и наноматериалы» Тамбовского государственного университета имени Г.Р. Державина г. Тамбов, Защитный пер., д.7 Тел: (4752) 53-26-80 E-mail: golovin@tsu.tmb.ru

Подробнее

Д.А. Новиков, Е.А. Милованова КООРДИНАТНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ И ИХ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ

Д.А. Новиков, Е.А. Милованова КООРДИНАТНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ И ИХ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ В.Г. Лысенко, К.И Маликов, Д.А. Новиков, Е.А. Милованова КООРДИНАТНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ И ИХ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ Докладчик д.т.н., проф. Лысенко В.Г. 1. Аннотация В данном докладе дается концептуальное

Подробнее

Один нанометр (нм) это одна миллиардная часть метра (10-9 м). Например, диаметр эритроцитов 7000 нм, толщина человеческого волоса нм.

Один нанометр (нм) это одна миллиардная часть метра (10-9 м). Например, диаметр эритроцитов 7000 нм, толщина человеческого волоса нм. Один нанометр (нм) это одна миллиардная часть метра (10-9 м). Например, диаметр эритроцитов 7000 нм, толщина человеческого волоса 80 000 нм. Большинство атомов имеют диаметр от 0,1 до 0,2 нм. Нанотехнологии

Подробнее

К читателю Предисловие... Глава 1. Классификация и методы получения нанокластеров и наноструктур... Глава 2. Методы исследования

К читателю Предисловие... Глава 1. Классификация и методы получения нанокластеров и наноструктур... Глава 2. Методы исследования Оглавление К читателю (Ю.Д. Третьяков)... 8 Предисловие... 9 Глава 1. Классификация и методы получения нанокластеров и наноструктур... 16 1.1. Молекулярные кластеры... 16 1.2. Газовые безлигандные кластеры...

Подробнее

О ходе реализации Программы «Создание эталонов единицы длины нового поколения в диапазоне м на годы»

О ходе реализации Программы «Создание эталонов единицы длины нового поколения в диапазоне м на годы» Приложение 44 к протоколу МГС 38-2010 О ходе реализации Программы «Создание эталонов единицы длины нового поколения в диапазоне 10-9 10-4 м на 2010 2012 годы» Во ФГУП «ВНИИМС» в рамках федеральной целевой

Подробнее

Исследование влияния состава электролита на оптические свойства получаемого в ходе электролитического травления пористого кремния

Исследование влияния состава электролита на оптические свойства получаемого в ходе электролитического травления пористого кремния УДК 538.958:621.357.12 Китаева В.А. 1 1 Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королѐва (Национальный исследовательский университет) Исследование влияния состава электролита

Подробнее

Физика конденсированных сред и наносистем (наименование дисциплины) Направление подготовки физика

Физика конденсированных сред и наносистем (наименование дисциплины) Направление подготовки физика 1 Аннотация рабочей программы дисциплины Физика конденсированных сред и наносистем (наименование дисциплины) Направление подготовки 03.03.02 физика Профиль подготовки «Фундаментальная физика», «Физика

Подробнее

СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛА МЕТОДАМИ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ выпускная квалификационная работа

СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛА МЕТОДАМИ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ выпускная квалификационная работа ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «БАШКИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕДАГОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. М. АКМУЛЛЫ» Кафедра общей

Подробнее

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРЕЦИИ ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ КОНТРОЛЬ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ОКРУЖАЮЩЕЙ ПРИРОДНОЙ СРЕДЫ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРЕЦИИ ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ КОНТРОЛЬ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ОКРУЖАЮЩЕЙ ПРИРОДНОЙ СРЕДЫ ГОСТ Р 8.589-2001 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРЕЦИИ ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ КОНТРОЛЬ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ОКРУЖАЮЩЕЙ ПРИРОДНОЙ СРЕДЫ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ. ОСНОВНЫЕ

Подробнее

Учебно-методическое обеспечение для подготовки кадров по программам

Учебно-методическое обеспечение для подготовки кадров по программам Министерство образования и науки Российской федерации Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический

Подробнее

МЕТОДОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ 2008

МЕТОДОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ 2008 УДК 621.726:621.78 ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ ПОСЛЕ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ МЕТОДОМ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДА КЕЛЬВИНА Н.А. Шипица 1, А.Л. Жарин 1, А.В. Белый 1, Д.И. Сарока

Подробнее

ОСНОВНЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ

ОСНОВНЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ Рисунок 3 Зависимость удельного расхода электроэнергии турбокомпрессора К500-61-5 от температуры воздуха после промежуточных воздухоохладителей Таким образом, повышение температуры воздуха после промежуточных

Подробнее

ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ НАНОМАТЕРИАЛОВ В КОСМИЧЕСКОЙ ТЕХНИКЕ

ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ НАНОМАТЕРИАЛОВ В КОСМИЧЕСКОЙ ТЕХНИКЕ Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына Л.С. Новиков, Е.Н. Воронина ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ НАНОМАТЕРИАЛОВ В

Подробнее

Мощные импульсные полупроводниковые лазеры: физические основы и практическое применение

Мощные импульсные полупроводниковые лазеры: физические основы и практическое применение Мощные импульсные полупроводниковые лазеры: физические основы и практическое применение Физико-Технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН Центр физики наногетероструктур Лаборатория «Полупроводниковой Люминесценции

Подробнее

Нанотехнология и наноматериалы

Нанотехнология и наноматериалы Нанотехнология и наноматериалы Наноструктурированные материалы различного назначения Фуллерены, фуллериты, нанотрубки, композиты на их основе Нанобиотехнологии в медицине, биологии, сельском хозяйстве,

Подробнее

4.1. Механическое разрушение твердых тел

4.1. Механическое разрушение твердых тел 4.1. Механическое разрушение твердых тел Наиболее типичными видами разрушения материалов, оборудования, машин и приборов являются механическое разрушение, износ, и коррозия. Эти виды разрушения охватывают

Подробнее

Вопросы для контроля в семестре

Вопросы для контроля в семестре Вопросы для контроля в семестре 1. Что означает относящийся к созданию нанообъектов термин "Top down"? 2. Что означает относящийся к созданию нанообъектов термин "Bottom up"? 3. Какой принцип стабилизации

Подробнее

Нанотехнологии и наноматериалы: специфика правовой охраны, оценка и инвентаризация

Нанотехнологии и наноматериалы: специфика правовой охраны, оценка и инвентаризация Нанотехнологии и наноматериалы: специфика правовой охраны, оценка и инвентаризация А.Н. Козырев, д.э.н. Тезисы к круглому столу 20 сентября 2011 года (ЦЭМИ РАН) 1. Тема круглого стола напрямую связана

Подробнее

ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ. Введение

ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ. Введение 24 УДК 621.865.6 О.М. Мелкозерова ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ Введение Интерес к наноматериалам обусловлен возможностью

Подробнее

Об экономичности нанотехнологий в производстве строительных материалов

Об экономичности нанотехнологий в производстве строительных материалов Нанотехнологии в строительство Анализ современных тенденций внедрения новых строительных технологий и материалов в экономически развитых странах мира позволяет утверждать, что основой динамичного внедрения

Подробнее

Перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности ионно-лучевым методом

Перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности ионно-лучевым методом УДК 621.3.049.77 Перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности ионно-лучевым методом Е.В. Одинокова, Ю.В. Панфилов, П.И. Юрченко МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Анализируются

Подробнее

4. Процессы самосборки в наносистемах. Связывание наночастиц в блоки.

4. Процессы самосборки в наносистемах. Связывание наночастиц в блоки. 4. Процессы самосборки в наносистемах. Связывание наночастиц в блоки. Размер современных микроэлектронных устройств вплотную приближается к пределу использования процессов литографии, что влечет за собой

Подробнее

ОГЛАВЛЕНИЕ. Введение... 5

ОГЛАВЛЕНИЕ. Введение... 5 ОГЛАВЛЕНИЕ Введение............................................. 5 Глава первая Методология компьютерного моделирования наносистем........................................... 10 1.1. Общие принципы компьютерного

Подробнее

Все профессиональные рамановские приборы компании HORIBA Scientific (T64000, LabRAM HR, XploRA Plus/Inv) являются конфокальными микроспектрометрами.

Все профессиональные рамановские приборы компании HORIBA Scientific (T64000, LabRAM HR, XploRA Plus/Inv) являются конфокальными микроспектрометрами. Рамановская микроскопия, связанные с ней понятия и определения В настоящей статье мы рассмотрим совокупность терминов и понятий, возникающих при объединении в одном оптическом инструменте возможностей

Подробнее

Примеры использования СЗМ для решения задач в материаловедении и нанотехнологии

Примеры использования СЗМ для решения задач в материаловедении и нанотехнологии Примеры использования СЗМ для решения задач в материаловедении и нанотехнологии В этой главе приводится несколько примеров решения реальных задач методами СЗМ. Эта глава не преследует своей целью проиллюстрировать

Подробнее

МЕТОДИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ (6 ЧАСОВ) Тема 7. Расчет критического радиуса зародыша новой фазы (2 часа)

МЕТОДИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ (6 ЧАСОВ) Тема 7. Расчет критического радиуса зародыша новой фазы (2 часа) МЕТОДИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ (6 ЧАСОВ) Тема 7. Расчет критического радиуса зародыша новой фазы (2 часа) К настоящему времени разработано большое количество разнообразных методов и способов,

Подробнее

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА С ОБРАТНОЙ СВЯЗЬЮ ДЛЯ ЛАЗЕРНОЙ ВЫТЯЖКИ НАНОЗОНДОВ В.П. Вейко, В.З. Зыонг, Е.Б. Яковлев

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА С ОБРАТНОЙ СВЯЗЬЮ ДЛЯ ЛАЗЕРНОЙ ВЫТЯЖКИ НАНОЗОНДОВ В.П. Вейко, В.З. Зыонг, Е.Б. Яковлев ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА С ОБРАТНОЙ СВЯЗЬЮ ДЛЯ ЛАЗЕРНОЙ ВЫТЯЖКИ НАНОЗОНДОВ В.П. Вейко, В.З. Зыонг, Е.Б. Яковлев В работе проведены характеристики ближнепольных оптических зондов (БОЗ), полученных разными

Подробнее

Исследование границы металлизации микроэлектронных структур с помощью конфокальной микроскопии

Исследование границы металлизации микроэлектронных структур с помощью конфокальной микроскопии УДК 53.086 Исследование границы металлизации микроэлектронных структур с помощью конфокальной микроскопии П.С. Захаров, В.С. Зайончковский, Е.Б. Баскаков КФ МГТУ им. Н.Э. Баумана, г. Калуга, 248600, Россия

Подробнее

Рис. 1. Сопоставление объектов в различных размерных диапазонах

Рис. 1. Сопоставление объектов в различных размерных диапазонах СОВРЕМЕННЫЕ НАУКОЁМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ Материал подготовил доктор педагогических наук, профессор кафедры физической электроники И.И. Хинич Энциклопедический словарь определяет технологию (от греч. «techne»

Подробнее

ВАКУУМНО-ДУГОВАЯ ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, КАК СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕГУЛЯРНОГО МИКРОРЕЛЬЕФА.

ВАКУУМНО-ДУГОВАЯ ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, КАК СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕГУЛЯРНОГО МИКРОРЕЛЬЕФА. ВАКУУМНО-ДУГОВАЯ ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, КАК СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕГУЛЯРНОГО МИКРОРЕЛЬЕФА. В.Г. Кузнецов 1, В.П. Пониматкин 2, Р.Н. Ризаханов 3, Т.А. Курбанов 4 1 Институт проблем машиноведения

Подробнее

Нанолаб Комплексная междисциплинарная учебно-исследовательская лаборатория

Нанолаб Комплексная междисциплинарная учебно-исследовательская лаборатория Нанолаб Комплексная междисциплинарная учебно-исследовательская лаборатория Нанолаб Нанолаб это комплект современных исследовательских приборов, спроектированный для проведения междисциплинарных учебно-исследовательских

Подробнее

ИЗМЕНЕНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ CVD ZnSe ПРИ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ РАЗМЕРА ЗЕРНА СУСПЕНЗИИ

ИЗМЕНЕНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ CVD ZnSe ПРИ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ РАЗМЕРА ЗЕРНА СУСПЕНЗИИ УДК 681.3: 681.7.023.72 ИЗМЕНЕНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ CVD ZnSe ПРИ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ РАЗМЕРА ЗЕРНА СУСПЕНЗИИ 2013 г. Е. Ю. Вилкова*; О. В. Тимофеев*; С. А. Носов**; А. Н. Дубовой**,

Подробнее

Кафедра «Квантовая физика и наноэлектроника» Выпускающая кафедра факультета ЭКТ

Кафедра «Квантовая физика и наноэлектроника» Выпускающая кафедра факультета ЭКТ Кафедра «Квантовая физика и наноэлектроника» Выпускающая кафедра факультета ЭКТ K ˆ H ˆ «Нано» образование востребовано! Индустрия наносистем и материалов приоритетное направление науки, техники и технологии

Подробнее

КОНТРОЛЬ новых ТЕХНОЛОГИЙ В ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ СВЧ ЭЛЕКТРОНИКЕ

КОНТРОЛЬ новых ТЕХНОЛОГИЙ В ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ СВЧ ЭЛЕКТРОНИКЕ В. В. Груздов Ю.В. Колковский Ю.А. Концевой КОНТРОЛЬ новых ТЕХНОЛОГИЙ В ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ СВЧ ЭЛЕКТРОНИКЕ -1000 О 1000 2000 3000 Омега-2тета (угл. сек.) ТЕХНОСФЕРА СОДЕРЖАНИЕ ВВЕДЕНИЕ...10 ГЛАВА 1 ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНАЯ

Подробнее

PACS: Ps, Jk

PACS: Ps, Jk В.М. Грабов, Е.В. Демидов, В.А. Комаров Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, 191186 Санкт-Петербург, Россия E-mail: vmgrabov@yandex.ru (Поступила в Редакцию 12 ноября

Подробнее

НАНОТЕХНОЛОГИИ И НАНОМАТЕРИАЛЫ В КОСМОНАВТИКЕ

НАНОТЕХНОЛОГИИ И НАНОМАТЕРИАЛЫ В КОСМОНАВТИКЕ Введение НАНОТЕХНОЛОГИИ И НАНОМАТЕРИАЛЫ В КОСМОНАВТИКЕ Л.С. Новиков, Е.Н. Воронина Научно-исследовательский институт ядерной физики МГУ E-mail: novikov@sinp.msu.ru На рубеже XX XXI столетий сформировалась

Подробнее

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧЕРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

Подробнее

Трехслойные наноструктуры интерференционных фильтров Фабри-Перо высокого разрешения

Трехслойные наноструктуры интерференционных фильтров Фабри-Перо высокого разрешения Трехслойные наноструктуры интерференционных фильтров Фабри-Перо высокого разрешения Денисов А.А. Руководитель: Шахнов В.А., д.т.н., проф. кафедры ИУ4 МГТУ им. Н.Э.Баумана Цель работы Цель работы: Разработка

Подробнее

Лабораторная работа N «Исследование оптических свойств геля пентаоксида ванадия»

Лабораторная работа N «Исследование оптических свойств геля пентаоксида ванадия» Лабораторная работа N «Исследование оптических свойств геля пентаоксида ванадия» Лабораторная работа N «Исследование оптических свойств геля пентаоксида ванадия» Теоретическое введение 1. Общие свойства

Подробнее

04 МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

04 МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА 04 МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА 04.01 Стандартные образцы вязкости жидкости Предназначены для калибровки и поверки визкозиметров, аттестации методик измерений, внешнего и внутреннего контроля точности результатов

Подробнее

du TdS pdv dn d Na тв Cl NaCl тв H NaCl Размер фазы. Макро-, микро- и нанофазы.

du TdS pdv dn d Na тв Cl NaCl тв H NaCl Размер фазы. Макро-, микро- и нанофазы. Размер фазы. Макро-, микро- и нанофазы. До сих пор мы не говорили о размерах фаз. Рассуждая об изменениях энергии фазы, мы не включили в объединенное уравнение Первого и Второго закона слагаемое, связанное

Подробнее

ЗАО «Новосибирские наноматериалы» (http://www.nsknano.ru)

ЗАО «Новосибирские наноматериалы» (http://www.nsknano.ru) ЗАО «Новосибирские наноматериалы» (http://www.nsknano.ru) ЗАО «Новосибирские наноматериалы» было создано в марте 2010 года как результат взаимодействия научно-исследовательского коллектива, команды управленцев,

Подробнее

1. Пояснительная записка 1.1. Требования к студентам Студент должен обладать следующими исходными компетенциями: базовыми положениями математических

1. Пояснительная записка 1.1. Требования к студентам Студент должен обладать следующими исходными компетенциями: базовыми положениями математических 1. Пояснительная записка 1.1. Требования к студентам Студент должен обладать следующими исходными компетенциями: базовыми положениями математических и естественных наук; владеть навыками самостоятельной

Подробнее