Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы.

Размер: px
Начинать показ со страницы:

Download "Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы."

Транскрипт

1 Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы. Ю.В.Агабеков, А.М.Сутырин Из кн. Труды постоянно действующего научно-технического семинара. "Электровакуумная техника и технология" (за 1997/98 гг.), Москва, 1999 г., сс В настоящее время магнетронное распыление является одним из основных широко распространенных вакуумных методов нанесения тонкопленочных покрытий. Разработка новых магнетронных источников распыления стимулируется, в основном, требованиями новых сфер применения, где возникает острая необходимость в перспективных высококачественных пленках, а также возрастающими требованиями к промышленному производству тонких пленок, такими как: высокая производительность, надежная работа, широкие функциональные и технологические возможности установок для нанесения покрытий. Реальным прорывом в магнетронных методах нанесения покрытий является появление нового поколения магнетронных источников - несбалансированных магнетронов (НМ). За счет особой конфигурации магнитного поля НМ позволяют осуществлять нанесение покрытий, обеспечивая воздействие на поверхность растущей пленки потока ионов плазмы, генерируемой магнетронным разрядом (так, называемое, ионное нанесение покрытий методом магнетронного распыления). Ионная бомбардировка поверхности растущей пленки позволяет регулировать характеристики зародышеобразования, морфологию, химический состав, микроструктуру и напряжение в пленке. Эти возможности обусловлены высокой энергетикой бомбардирующих ионов, приводящей к увеличению мобильности адсорбированных атомов или повторному распылению слабо связанных частиц. Благодаря эффекту атомной проковки ионная бомбардировка позволяет получать плотные беспористые пленки с высокими напряжениями сжатия, имеющие гладкую блестящую поверхность. И, наконец, что особенно актуально, при достаточно высоких уровнях ионного воздействия можно получать так называемые ионные реактивные покрытия (пленки нитридов, карбидов, оксидов металлов), обладающие комплексом экстраординарных механических. теплофизических и оптических свойств (высокой твердостью, износостойкостью, электро- и теплопроводностью, оптической плотностью). Новые возможности, обеспечиваемые магнетронными распылительными системами (МРС) на основе НМ, расширяют или привносят новые функциональные и технологические возможности в промышленном производстве покрытий. Так, возможность нанесения ионных реактивных покрытий при низких (до С) температурах позволяет наносить эти покрытия на перспективные изделия из материалов с низкой температурной стойкостью (например, латуни, алюминиевые и цинкалюминиевые сплавы, пластмассы) или из углеродистых сталей с низкой температурой отпуска. Существенное, по сравнению с обычными магнетронами, увеличение предельных расстояний мишень-подложка (d s-t ), на которых обеспечиваются необходимые условия получения качественных реактивных покрытий (от 50 мм - для обычных магнетронов, до 200мм - для несбалансированных МРС), позволяет, во-первых, увеличить производительность промышленных установок, за счет увеличения размеров эффективной зоны нанесения покрытий, и, во-вторых, наносить покрытия на изделия больших размеров и сложных конфигураций. Ионное воздействие на поверхность растущей пленки описывается следующими параметрами:

2 -плотностью ионного тока j i ; -отношением потока ионов к потоку осажденных атомов (число падающих ионов на осажденный атом) v=n i /n a ; -энергией ионов E i или величиной отрицательного (относительно плазмы) потенциала самосмещения U sb. U sb определяет E i в случаях нанесения диэлектрических пленок или электропроводящих пленок на диэлектрические подложки; при нанесении электропроводящих пленок на электропроводный материал E i может регулироваться величиной потенциала смещения, подаваемого на подложку от внешнего источника. Повышение этих параметров соответствует увеличению интенсивности и энергетики ионного воздействия. Оптимальный уровень ионного воздействия, необходимый для получения высококачественных покрытий, различен в зависимости от вида осаждаемых пленок. Так, для получения высококачественных ионных реактивных пленок нитридов и карбидов металлов (TiN, TiC, ZrN), необходимо обеспечивать ионное воздействие с v>2 и Ei= эв. Качественные диэлектрические оксидные пленки (TiO 2, ZrO 2, Al 2 O 3 ) могут быть получены при умеренном ионном воздействии (v=1...2), но с достаточно высокой энергетикой ионов (Ei>40 эв), которая в этом случае должна обеспечиваться высокими значениями потенциала самосмещения U sb. Для получения плотных беспористых металлических пленок в состоянии сжатия (Al, Cu, Ti, Cr, Mo) предпочтительны низкие уровни ионной поддержки (v=0,1...1,0), так как при более интенсивной ионной бомбардировке возрастание сжимающего напряжения выше определенного предела может привести к разрушению пленки. Экспериментальные исследования в области ионно-плазменного синтеза широкого спектра тонкопленочных структур, понимание принципов построения несбалансированных конфигураций магнетронных распылительных устройств и созданная методология их проектирования позволила специалистам фирмы разработать высокоэффективные схемы НМ. Созданные МРС представляют собой одно- или двухкатодные несбалансированные системы с открытой или закрытой магнитной конфигурацией. Каждая из представляемых систем ориентирована на определенную сферу применения и может быть классифицирована по уровню ионного воздействия, определяемого величиной параметра v. Классификация несбалансированных МРС Класс несбалансированной МРС Уровень ионного воздействия Величина определяющего параметра v* А низкий 0,1...1 В умеренный С высокий D сверхвысокий > 10 Основной вид получаемых покрытий и другие применения Плотные металлические пленки. Плотные металлические и оксидные пленки. Ионные реактивные покрытия (нитриды, карбиды, оксиды). Новые сверхплотные структуры, ион. источники с высокой плотностью тока. * Величина v определяется при распылении титановой мишени в атмосфере аргона.

3 Фирмой разработаны промышленные МРС, учитывающие современные требования производства покрытий (оптимальный для определенного вида покрытий уровень ионного воздействия, большие размеры эффективной зоны). Представляют интерес последние разработки фирмы - несбалансированные системы со сверхвысоким уровнем ионного воздействия (НМС-Д-160, НМС-Д-160СФ). Данные системы разработаны, в основном, для исследовательских целей. Возможные сферы их промышленного применения в настоящее время изучаются. Промышленные несбалансированные МРС с усиленной ионизацией плазмы. Определяющими характеристиками промышленных несбалансированных МРС являются - требуемый уровень ионного воздействия и размеры эффективной зоны нанесения покрытий. Фирмой разработаны промышленные несбалансированные МРС различного класса, в которых используются магнитные системы, оптимизированные по данным характеристикам. Разработанные системы представляют собой, в основном, двухкатодные (ДК) несбалансированные магнетронные распылительные системы (НМС) с замкнутой магнитной конфигурацией. Данная конфигурация существенно усиливая степень ионизации плазмы позволяет обеспечивать наиболее высокий уровень ионного воздействия. НМ, входящие в двухкатодную систему, размещаются по схеме face-to-face и представляют собой прямоугольные планарные магнетроны с магнитной системой, выполненной на постоянных магнитах типа NdFeB. Конструкция магнетронов позволяет устанавливать их как на фланцевом соединении в стенке камеры, так и внутри объема вакуумной камеры. Технические характеристики промышленных несбалансированных МРС. Характеристики МРС НМС-С- 500ДК НМС-В- 1200ДК НМ-А-500 НМ-В- 65МК *** Размер мишени, мм х65 6 штук Толщина мишени, мм Плотность мощности на мишени, Вт/см 2 Диапазон рабочих давлений, ,1...1 Па Размеры эффективной зоны (ширина х глубина), мм х160 j i по ширине эффективной (20) (40) (20) 0,7...4 (10) зоны*, ма/см 2 ν по ширине эффективной зоны ,2...2,0 U sb в диапазоне рабочих давлений, В Скорость нанесения ,1 покрытий**, мкм/мин Габариты НМ (длина х х75х55 ширина х высота), мм Тип охлаждения мишени прямой прямой прямой прямой * Измерено при распылении титана в аргоне при давлении 0,2 Па; в скобках указано значение номинального разрядного тока в А.

if ($this->show_pages_images && $page_num < DocShare_Docs::PAGES_IMAGES_LIMIT) { if (! $this->doc['images_node_id']) { continue; } // $snip = Library::get_smart_snippet($text, DocShare_Docs::CHARS_LIMIT_PAGE_IMAGE_TITLE); $snips = Library::get_text_chunks($text, 4); ?>

4 ** На расстоянии d s-t =150 мм, при распылении титана в аргоне с номинальным разрядным током. *** НМ-В-65МК- мультикатодный магнетрон с шестью автономными катодами-мишенями. Разработанная методология построения и оптимизации промышленных несбалансированных МРС с усиленной ионизацией плазмы позволяет создавать эффективные распылительные системы для нанесения широкого спектра высококачественных тонкопленочных покрытий различного назначения.при этом в зависимости от конкретных производственных требований промышленные несбалансированные МРС могут быть изготовлены в широком диапазоне размеров (длиной от 100 до 2000мм). Несбалансированные МРС со сверхвысоким уровнем ионного воздействия. Синтез высококачественных реактивных ионных покрытий промышленного применения успешно осуществляется с помощью несбалансированных МРС с уровнем ионного воздействия v =2-10 (класс С по принятой классификации). Однако, научный и в перспективе, промышленный интерес представляет получение и исследование свойств новых тонкопленочных метастабильных структур, синтезированных в условиях сверхвысокого ионного воздействия (v>>10). С целью получения подобных структур разработаны несбалансированные МРС со сверхвысоким уровнем ионного воздействия: системы НМС-Д-160 и НМС-Д160СФ. Конструктивно каждая система состоит из круглого НМ с особой магнитной конфигурацией и дополнительной магнитной системы, выполненной на постоянных магнитах. Меняя расположение дополнительной магнитной системы относительно НМ, можно в широких пределах регулировать характеристики МРС. Некоторые конструктивные и рабочие характеристики МРС приведены в таблице. Характеристики МРС НМС-Д-160 НМС-Д-160СФ Диаметр мишени, мм Толщина мишени, мм Диапазон рабочих давлений, Па Ток разряда НМ, А до 15 до 15 Габариты НМ (диаметр х высота), мм Тип охлаждения прямой прямой Система НМС-Д-160 предназначена, в основном, для синтеза новых диэлектрических структур, определяющим параметром которого является величина потенциала самосмещения U sb. Конструкция данной системы обеспечивает возможность работы на очень низких давлениях Р=0,02 Па при уровне ионного воздействия v=12 и величине плавающего потенциала U sb = - 74 В. Параметры НМС-Д- 160 в широком диапазоне рабочих давлений приведены на рис. 1,2.

5 Рис.1.Зависимость разрядного напряжения Ud, плотности ионного тока j i и потенциала самосмещения U sb от давления аргона Р при распылении Ti- мишени. Ток разряда I d =4А, расстояние d s-t =150 мм. Рис.2 Зависимость плотности ионного тока j i, потенциала самосмещения Usb и отношения ион/атом v от радиального расстояния R (от оси НМ) при распылении Ti-мишени. Давление аргона P=0.03 Пa, I d =4 A, ds-t=150 мм. Система НМС-Д-160СФ принципиально отличается от других несбалансированных МРС наличием особого эффекта, названного эффектом самофокусировки плазмы. Благодаря специальной конструкции магнитной системы НМ, данная МРС наряду с эффективным распылением мишени, обеспечивает резкое увеличение ионного потока вдоль оси НМ, формируя относительно узкий пучок высокоплотной сильно ионизированной плазмы. При разрядном токе магнетрона I d =15 А плотность ионного тока в пучке составляет более 100 ма/см2 при значении v>60. Параметры данной системы представлены на рис.3, 4. Рис 3. Зависимость плотности ионного тока ji и потенциала самосмещения Usb от давления аргона Р при распылении Ti-мишени Ток разряда I d = 10 A, расстояние d s-t =150 мм. Рис.4. Зависимость плотности ионного тока j i и отношения ион/атом v от радиального расстояния R (от оси НМ) при распылении Ti - мишени. Давление аргона P=0.3 Пa, I d =10 A, d s-t =150 мм. Экстремально высокая плотность ионного потока в осевом плазменном пучке, близкая к 100% степень его ионизации, легко реализуемая возможность варьировать в широких пределах параметры ионного воздействия, а также простота конструктивного исполнения делают систему НМС-Д-160СФ удобным и эффективным инструментом для синтеза новых метастабильных структур перспективных композиций реактивных пленок.

6 Принцип построения магнитной системы обеспечивающей эффект самофокусировки плазмы, реализованный в круглом (осесимметричном) магнетроне, позволяет также получать подобные источники протяженных (линейных) конфигураций (прямоугольные планарные НМ). Это делает возможным разработку промышленных МРС со сверхвысоким уровнем ионного воздействия. Промышленное использование несбалансированных МРС. В настоящее время несбалансированные МРС нашли применение в выпускаемых НПФ Практик промышленных вакуумных установках для нанесения ионных покрытий серии УНИП. Для этих установок разработаны технологии нанесения защитно-декоративных покрытий для ряда изделий широкого потребления: корпусов и браслетов наручных часов, оправ для очков, фурнитуры различного назначения. Основные технологии ионных защитно-декоративных покрытий Тип покрытия Хром Титан Цирконий Нитрид хрома Нитрид титана Нитрид титана Нитрид циркония Нитрид циркония Оксид титана (циркония) Сплавы золота Цвет, характерные свойства голубовато-серый темно-серый светло-серый черный, серо-черный, повышенная износостойкость аметистовый, повышенная износостойкость золотисто-бронзовый, повышенная износостойкость светло-золотистый, повышенная износостойкость все оттенки коричневого,повышенная износостойкость голубой, многоцветный (под перламутр) розовый, красновато-желтый, желтый Установки УНИП-700ДК с системами НМС-С-600ДК и НМС-В-600-ДК используются в серийном производстве Чистопольского часового завода Восток для нанесения декоративных защитно-упрочняющих покрытий нитридов титана, циркония, металлического хрома и циркония на латунные корпуса часов. Плотная беспористая микрокристаллитная структура ионных покрытий, получаемых с помощью несбалансированных магнетронов, используемых в установке, обеспечивает высокий уровень антикоррозионной защиты таких материалов как латунь, медно-никелиевые сплавы, цинк-алюминиевые сплавы и др. Это позволило исключить предварительное нанесение гальванического подслоя хрома (никеля) при нанесении TiN- покрытий на латунные корпуса наручных часов. Корпуса с ионными TiN-покрытиями или с металлическими покрытиями Zr, Ti, Cr толщиной 0,8-1,2 мкм выдерживают испытания на износостойкость, а также коррозионную стойкость и защитную способность в трех средах (серосодержащие агенты, искусственный пот, уксусно-кислая среда) в соответствии с ОСТ Тогда, как прохождение тех же испытаний корпусов покрытых гальваническим Cr обеспечивается при толщинах покрытия 3-6 мкм.

7 Установка УНИП-400 с магнетронами НМ-В-65МК используется для нанесения ионных покрытий золота на изделия ювелирной бижутерии в АО Сахаювелир. На установках УНИП-600 ДК в НПФ Практик осуществляется серийное производство защитно-декоративных покрытий на оправы для очков объемом более 15 тыс. шт. в месяц. Технологические возможности созданных несбалансированных МРС не ограничиваются получением высококачественных защитно-декоративных покрытий. В стадии завершения находится разработка технологии нанесения защитноупрочняющих TiN - покрытий на лезвийный и фасонный режущий инструмент, которые по своим свойствам не уступают аналогичным покрытиям, полученным модифицированными ( бескапельными ) методами вакуумного-дугового испарения.

Ñîäåðæàíèå. Предисловие 11. Введение 12

Ñîäåðæàíèå. Предисловие 11. Введение 12 Ñîäåðæàíèå Предисловие 11 Введение 12 Глава 1. Пробои на катоде магнетрона 16 1.1. Что такое пробой 16 1.2. Механизм возникновения пробоев на катоде 17 1.3. Причины пробоев на катоде при реактивном магнетронном

Подробнее

Вакуумные установки серий Ника-2012 и Ника-2013

Вакуумные установки серий Ника-2012 и Ника-2013 Берлин Е. В., Григорьев В. Ю. Вакуумные установки серий Ника-2012 и Ника-2013 ВТТ 2015 Санкт-Петербург Серия «Ника-2012» Современный аналог колпаковых машин серии УВН-71. Состав: Камера нерж. Ø400х350

Подробнее

УДК Иващенко С.А., Койда С.Г. ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗМЕНЕНИЕ МИКРОТВЁРДОСТИ ПОКРЫТИЯ

УДК Иващенко С.А., Койда С.Г. ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗМЕНЕНИЕ МИКРОТВЁРДОСТИ ПОКРЫТИЯ внутренняя энергия системы взаимодействующих частиц не меняется, то перезарядка называется резонансной, что характерно для взаимодействия иона и атома одного вещества [3]. Данный процесс применительно

Подробнее

Вакуумные технологии НПФ «Элан-Практик»

Вакуумные технологии НПФ «Элан-Практик» Защитно-декоративные керамические покрытия на изделиях массового потребления вакуумные технологии и оборудование с использованием несбалансированных магнетронов Ю.В. Агабеков, НПФ"Элан-Практик" Из кн.

Подробнее

ОБОРУДОВАНИЕ, ВЫПУСКАЕМОЕ ВИАМ

ОБОРУДОВАНИЕ, ВЫПУСКАЕМОЕ ВИАМ ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ОБОРУДОВАНИЕ, ВЫПУСКАЕМОЕ ВИАМ ВИАМ предлагает изготовление и поставку оборудования

Подробнее

Оптические пленки, напыленные с ионным ассистированием при помощи источника HCS Е.В. Клюев

Оптические пленки, напыленные с ионным ассистированием при помощи источника HCS Е.В. Клюев Оптические пленки, напыленные с ионным ассистированием при помощи источника HCS Е.В. Клюев ООО «Ионные источники и Технологии», Московская область, Россия. Нанесение оптических покрытий с ионным ассистированием

Подробнее

Оптимизация кинематических режимов магнетронного напыления на основе расчета неравномерности покрытия

Оптимизация кинематических режимов магнетронного напыления на основе расчета неравномерности покрытия УДК 621.793 Оптимизация кинематических режимов магнетронного напыления на основе расчета неравномерности покрытия Введение Демидов П.С., студент Россия, 105005, г. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра

Подробнее

Влияние парциального состава газовой смеси на характеристики магнетронного разряда с алюминиевым катодом

Влияние парциального состава газовой смеси на характеристики магнетронного разряда с алюминиевым катодом УДК 67.05 Влияние парциального состава газовой смеси на характеристики магнетронного разряда с алюминиевым катодом Зимин Д.Д., студент Россия, 105005, г. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра «Плазменные

Подробнее

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК РАСПЫЛЕНИЕМ МАТЕРИАЛА ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК РАСПЫЛЕНИЕМ МАТЕРИАЛА ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ УДК 621.923 ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК РАСПЫЛЕНИЕМ МАТЕРИАЛА ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ С.И.Шкурат, кандидат химических наук, доцент Национальный кораблестроительный университет им.адм. Макарова П.Н.Полянский, асистент

Подробнее

ЭЛЕМЕНТ ПАМЯТИ МЕМРИСТОРНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК TiО 2 TiO x НАНОМЕТРОВОЙ ТОЛЩИНЫ

ЭЛЕМЕНТ ПАМЯТИ МЕМРИСТОРНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК TiО 2 TiO x НАНОМЕТРОВОЙ ТОЛЩИНЫ УДК 537.226.83 ЭЛЕМЕНТ ПАМЯТИ МЕМРИСТОРНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК TiО 2 TiO x НАНОМЕТРОВОЙ ТОЛЩИНЫ С.Г. Нагайчук, Д.П. Аргунов, П.А. Змановский Разработан метод получения тонких пленок TiO x, получены

Подробнее

Ионно-плазменные технологии и оборудование

Ионно-плазменные технологии и оборудование Ионно-плазменные технологии и оборудование ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ ПО ОБРАБОТКЕ ЛИСТОВОГО СТЕКЛА: СЕРИЯ «ОПАЛ» Предназначены для осаждения низкоэмиссионных, отражающих и тонирующих покрытий на лстовое

Подробнее

Типовая программа повышения квалификации по курсу «Технология вакуумных тонкопленочных покрытий в оптике»

Типовая программа повышения квалификации по курсу «Технология вакуумных тонкопленочных покрытий в оптике» Типовая программа повышения квалификации по курсу «Технология вакуумных тонкопленочных покрытий в оптике» п/п Лекционные занятия Варианты курсов Прим. Наименование раздела, темы «Оператор» 0лк 0 пр., нед.

Подробнее

Вакуумная установка нанесения нанокомпозитных покрытий. UniCoaT 700

Вакуумная установка нанесения нанокомпозитных покрытий. UniCoaT 700 Вакуумная установка нанесения нанокомпозитных покрытий Производство всех типов нанокомпозитных покрытий различного назначения (упрочняющих, защитных, трибологических, многофункциональных и др.) для широкого

Подробнее

Рисунок 1 Элементы тепловой защиты ОК «Буран»

Рисунок 1 Элементы тепловой защиты ОК «Буран» Условия работы изделий авиационной техники обуславливают высокие требования к материалам, из которых они изготавливаются. Материалы должны обладать высокой прочностью, коррозионной стойкостью, низким удельным

Подробнее

Институт инновационных технологий. Механико-технологический факультет. Кафедра «Технология машиностроения»

Институт инновационных технологий. Механико-технологический факультет. Кафедра «Технология машиностроения» Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Владимирский государственный университет имени

Подробнее

04;12. PACS: Jj

04;12.   PACS: Jj 04;12 Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного пучка В.В. Жуков, В.П. Кривобоков, С.Н. Янин Федеральное государственное научное учреждение Научно-исследовательский институт

Подробнее

1. Оптический пробой среды. 2. Ударные и тепловые нелинейные эффекты. Понятие о силовой оптике. Лучевая прочность.

1. Оптический пробой среды. 2. Ударные и тепловые нелинейные эффекты. Понятие о силовой оптике. Лучевая прочность. Лекция 6 ТЕРМООПТИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ ПРИ СВЕРХВЫСОКИХ ИНТЕНСИВНОСТЯХ СВЕТА Вопросы: 1. Оптический пробой среды.. Ударные и тепловые нелинейные эффекты. Понятие о силовой оптике. Лучевая прочность. Эффективные

Подробнее

МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ

МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ ПРОМЫШЛЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ Д.Локтев, Е.Ямашкин e.yamashkin@technopolice.ru d.loktev@technopolice.ru МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙЯ НАНЕСЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ Состав

Подробнее

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ На правах рукописи РАБОТКИН СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ НАНЕСЕНИЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ОКСИДА ЦИНКА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО

Подробнее

Тесты текущего контроля успеваемости по дисциплине

Тесты текущего контроля успеваемости по дисциплине Приложение Б-1 Тесты текущего контроля успеваемости по дисциплине 1. Какой процесс называют коррозией металлов? а) разрушение металлов от статических механических нагрузок; б) разрушение металлов при циклических

Подробнее

1 Срок службы деталей машин и механизмов и роль поверхности. 1.1 Эксплуатационные условия работы и причины отказа деталей

1 Срок службы деталей машин и механизмов и роль поверхности. 1.1 Эксплуатационные условия работы и причины отказа деталей 1 Срок службы деталей машин и механизмов и роль поверхности 1.1 Эксплуатационные условия работы и причины отказа деталей Срок службы или долговечность Применительно к изделиям машиностроения рассматривают

Подробнее

Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов 73 С. Н. БЕЛЯЕВ

Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов 73 С. Н. БЕЛЯЕВ Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов 73 УДК 621. 793. 18 С. Н. БЕЛЯЕВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ВЫБОРА МАТЕРИАЛОВ И МЕТОДОВ НАПЫЛЕНИЯ УЗЛОВ ГИРОПРИБОРОВ

Подробнее

Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления

Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления На правах рукописи Пинаев Вячеслав Владимирович Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления Специальность: 05.7.06 Технология и оборудование для производства

Подробнее

ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ. Введение

ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ. Введение 24 УДК 621.865.6 О.М. Мелкозерова ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ Введение Интерес к наноматериалам обусловлен возможностью

Подробнее

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ На правах рукописи СОЛОВЬЕВ АНДРЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ УСТРОЙСТВА СО СКРЕЩЕННЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ И МАГНИТНЫМ ПОЛЯМИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

Подробнее

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ООО Прикладная Электроника РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ APEL-IS-7CELL ТОМСК 2012 ОГЛАВЛЕНИЕ 1. ВВЕДЕНИЕ...3 2. НАЗНАЧЕНИЕ...3 3. СОСТАВ ИИ...3 4. ПРИНЦИП РАБОТЫ

Подробнее

В. М. МЕДУНЕЦКИЙ, А. А. ШМИДБЕРСКАЯ

В. М. МЕДУНЕЦКИЙ, А. А. ШМИДБЕРСКАЯ 65 УДК.621.384 В. М. МЕДУНЕЦКИЙ, А. А. ШМИДБЕРСКАЯ ФОРМИРОВАНИЕ РЕГУЛЯРНЫХ МИКРОРЕЛЬЕФОВ НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ОСТРОСФОКУСИРОВАННЫМ ПУЧКОМ ТЯЖЕЛЫХ ИОНОВ Рассмотрен процесс формирования профиля канавки

Подробнее

Эрозионностойкие покрытия из нитридов и карбидов металлов и их плазмохимический синтез

Эрозионностойкие покрытия из нитридов и карбидов металлов и их плазмохимический синтез ВИАМ/2009-205374 Эрозионностойкие покрытия из нитридов и карбидов металлов и их плазмохимический синтез С.А. Мубояджян доктор технических наук Июль 2009 Всероссийский институт авиационных материалов (ФГУП

Подробнее

Методы получения и механизмы роста твердых тонких пленок неорганических материалов

Методы получения и механизмы роста твердых тонких пленок неорганических материалов Л9 Методы получения и механизмы роста твердых тонких пленок неорганических материалов Удивительный прогресс в микро- и оптоэлектронике, преобразовавший информационный мир за короткий период непосредственно

Подробнее

Вестник науки Сибири (1)

Вестник науки Сибири (1) Рябчиков Александр Ильич, д-р физ.-мат. наук, профессор, зав. лаб. 22 Физикотехнического E-mail: ralex@tpu.ru физика плазмы, физика твердого тела, физика пучков заряженных части и укорительная техника.

Подробнее

Автоматизация и управление вакуумным оборудованием

Автоматизация и управление вакуумным оборудованием Кафедра ФВТМ ИФВТ ТПУ Автоматизация и управление вакуумным оборудованием Модуль 4 Разработчик: Гончаренко И.М., к.т.н., доцент кафедры ФВТМ ВЫБОР И СВОЙСТВА ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ НА ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ ТВЕРДЫЕ

Подробнее

Современные плазменные технологии

Современные плазменные технологии Современные плазменные технологии Андрей Владимирович Козырев, д.ф.-м.н., профессор, заведующий кафедрой физики плазмы Томского государственного университета, заведующий лабораторией Института сильноточной

Подробнее

Требования к уровню освоения учебного курса

Требования к уровню освоения учебного курса Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» Ректор МФТИ УТВЕРЖДАЮ Н.Н. Кудрявцев Программа краткосрочного

Подробнее

Исследование оптических свойств тонких пленок сульфида цинка и оксида цинка. Выполнила аспирант ОмГУ: Богданова Елизавета Владимировна

Исследование оптических свойств тонких пленок сульфида цинка и оксида цинка. Выполнила аспирант ОмГУ: Богданова Елизавета Владимировна Исследование оптических свойств тонких пленок сульфида цинка и оксида цинка Выполнила аспирант ОмГУ: Богданова Елизавета Владимировна Цель работы: получение экспериментальных данных об оптических свойствах

Подробнее

Модернизированные плазмооптические приборы для генерации и управления сильноточными пучками тяжёлых ионов (фундаментальные результаты и приложения)

Модернизированные плазмооптические приборы для генерации и управления сильноточными пучками тяжёлых ионов (фундаментальные результаты и приложения) Модернизированные плазмооптические приборы для генерации и управления сильноточными пучками тяжёлых ионов (фундаментальные результаты и приложения) А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, А.Н. Евсюков, И.М.

Подробнее

Национальный исследовательский Томский государственный университет Борисов Дмитрий Петрович

Национальный исследовательский Томский государственный университет Борисов Дмитрий Петрович Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский Томский государственный университет На правах рукописи Борисов Дмитрий Петрович Генерация

Подробнее

СТРУКТУРА И ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ НАПЫЛЕННЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМЫ

СТРУКТУРА И ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ НАПЫЛЕННЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМЫ Коробов Ю.С., Шумяков В.И., Филиппов М.А., Невежин С.В., Жилин А.С. ФГАОУ ВПО «Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина», г. Екатеринбург СТРУКТУРА И ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ

Подробнее

Аддитивное производство Когда покрытие становится частью конструкции

Аддитивное производство Когда покрытие становится частью конструкции Аддитивное производство Когда покрытие становится частью конструкции Балдаев Сергей Львович s.baldaev@tspc.ru ООО «Технологические системы защитных покрытий» Содержание 1. Перспективные направления аддитивных

Подробнее

3.5. Обработка поверхностным пластическим деформированием

3.5. Обработка поверхностным пластическим деформированием 3.5. Обработка поверхностным пластическим деформированием Подобные технологии вызывают упрочнение поверхностного слоя металла в холодном состоянии (механические методы) или при нагревании (термо-механические

Подробнее

О возможности электронно-лучевой обработки диэлектриков плазменным источником электронов в форвакуумной области давлений

О возможности электронно-лучевой обработки диэлектриков плазменным источником электронов в форвакуумной области давлений 12 июня 04;10 О возможности электронно-лучевой обработки диэлектриков плазменным источником электронов в форвакуумной области давлений В.А. Бурдовицин, А.С. Климов, Е.М. Окс Томский государственный университет

Подробнее

ООО «НОРМИН» Производство порошков титана и титановых сплавов для аддитивных технологий

ООО «НОРМИН» Производство порошков титана и титановых сплавов для аддитивных технологий ООО «НОРМИН» Производство порошков титана и титановых сплавов для аддитивных технологий Назначение презентации пригласить потенциальных партнеров к сотрудничеству для: Ê нахождения оптимизированных композиций

Подробнее

Структура, механические и фрикционные свойства пленок нитрида титана, подвергнутых облучению непрерывными потоками ионов

Структура, механические и фрикционные свойства пленок нитрида титана, подвергнутых облучению непрерывными потоками ионов Письма в ЖТФ, 1998, том 24, 3 12 февраля 05.1;10 Структура, механические и фрикционные свойства пленок нитрида титана, подвергнутых облучению непрерывными потоками ионов И.Г. Романов, И.Н. Царева, Л.А.

Подробнее

Электрические вводные изоляторы и изоляционные втулки Металлокерамические изделия

Электрические вводные изоляторы и изоляционные втулки Металлокерамические изделия Электрические вводные изоляторы и изоляционные втулки Металлокерамические изделия FRIALIT FRIALIT это зарегистрированная торговая марка для изделий и компонентов из оксидной керамики, изготовленных немецкой

Подробнее

Исследование поверхностного модифицирования твердым сплавом группы ВК и ТК лазерным локальным легированием

Исследование поверхностного модифицирования твердым сплавом группы ВК и ТК лазерным локальным легированием Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Комсомольский-на-Амуре государственный технический

Подробнее

Электрические вводы и детали для изоляции

Электрические вводы и детали для изоляции Техническая статья Апрель 2014 Dipl.-Min. Хельмут Майер FRIALIT -DEGUSSIT Оксидная Керамика Электрические вводы и детали для изоляции 1. Введение Электрические вводы и детали для изоляции являются важным

Подробнее

ООО «Интехно-групп»

ООО «Интехно-групп» ООО «Интехно-групп» www.platings.ru Тел./Факс: (95) 1-8-9 E-mail: platings@yandex.ru 1. ОПИСАНИЕ РАЗРАБОТКИ Электролитическое хромирование является одним из наиболее распространенных гальванических процессов.

Подробнее

ГОРЕНИЕ И ПЛАЗМОХИМИЯ, 2014, том 12, 3, с ИОННОЕ - И ИОННО-ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ В ПЛОТНОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА

ГОРЕНИЕ И ПЛАЗМОХИМИЯ, 2014, том 12, 3, с ИОННОЕ - И ИОННО-ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ В ПЛОТНОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА УДК: 539.141;537.868.531, 2014, том 12, 3, с. 189-193 ИОННОЕ - И ИОННО-ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ В ПЛОТНОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА Амиров И.И., Изюмов М.О., Наумов В.В. Ярославский Филиал

Подробнее

МИШЕНИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ

МИШЕНИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ МИШЕНИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ Колесникова И.Г., Серба В.И., Кузьмич Ю.В., Фрейдин Б.М., Коротков В.Г. Ворончук С.И. Институт химии Кольского научного центра РАН В настоящее

Подробнее

Секция: физика Университетский Лицей 1511 предуниверситария НИЯУ МИФИ 115522, г. Москва Пролетарский проспект д. 6, корп. 3 тел: (495) 788-56-99, e-mail: sch_1511@gor.educom.ru Осаждение пористых кремниевых

Подробнее

4.5. Дуговая сварка в среде защитных газов

4.5. Дуговая сварка в среде защитных газов 4.5. Дуговая сварка в среде защитных газов При сварке в защитном газе электрод, зона дуги и сварочная ванна защищены струёй защитного газа. В качестве защитных газов применяют инертные газы (аргон и гелий)

Подробнее

Технология магнетронного распыления импульсами высокой мощности (НIPIMS)

Технология магнетронного распыления импульсами высокой мощности (НIPIMS) Технология магнетронного распыления импульсами высокой мощности (НIPIMS) Эффективное внедрение на промышленном уровне PVD технологии разрабатывались на протяжении нескольких десятилетий, через такие этапы,

Подробнее

МОДЕЛЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР В КОМПОЗИЦИИ «МЕТАЛЛИЗАЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ ОСНОВА» ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ СЖАТОЙ ДУГИ

МОДЕЛЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР В КОМПОЗИЦИИ «МЕТАЛЛИЗАЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ ОСНОВА» ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ СЖАТОЙ ДУГИ УДК 621.793.79 Верхорубов В. С., Невежин С. В., Коробов Ю. С. Уральский федеральный университет, г. Екатеринбург Щицын Ю. Д., Неулыбин С. Д. ПНИПУ, г. Пермь МОДЕЛЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР В КОМПОЗИЦИИ

Подробнее

образования «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана», профессор кафедры высшей математики.

образования «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана», профессор кафедры высшей математики. ЗАКЛЮЧЕНИЕ диссертационного совета Д 212.141.17 на базе федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Московский государственный технический

Подробнее

МАЛОГАБАРИТНАЯ ПЕРЕНОСНАЯ

МАЛОГАБАРИТНАЯ ПЕРЕНОСНАЯ Основы технологии плазменного напыления Плазма ( поток газа температурой 6000ºС 40000ºС С и скоростью 50М 500М/сек) 500М/сек) образуется в специальном генераторе плазмы. Плазма практически мгновенно расплавляет

Подробнее

Всероссийская научно-техническая конференция студентов Студенческая научная весна 2015: Машиностроительные технологии

Всероссийская научно-техническая конференция студентов Студенческая научная весна 2015: Машиностроительные технологии УДК 621.375.826 ИССЛЕДОВАНИЕ ПЕРЕМЕШИВАНИЯ ПРИСАДОЧНОГО МАТЕРИАЛА В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ПЛОТНОСТИ МОЩНОСТИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ НАНЕСЕНИИ ВЫСОКОПРОЧНЫХ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ Роман Дмитриевич Асютин Студент

Подробнее

Бюджетные генераторы для микроволновых плазмотронов.

Бюджетные генераторы для микроволновых плазмотронов. Бюджетные генераторы для микроволновых плазмотронов. Тихонов В.Н., Иванов И.А., Крюков А.Е., Тихонов А.В. Всероссийский научно-исследовательский институт сельскохозяйственной радиологии и агроэкологии,

Подробнее

Новое технологическое оборудование инновационным технологиям микро-, нано-, радиоэлектроники

Новое технологическое оборудование инновационным технологиям микро-, нано-, радиоэлектроники Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения" ОАО НИИТМ Новое технологическое оборудование инновационным технологиям микро-, нано-, радиоэлектроники Сентябрь

Подробнее

Защитные и упрочняющие ионно-плазменные покрытия для лопаток и других ответственных деталей компрессора ГТД

Защитные и упрочняющие ионно-плазменные покрытия для лопаток и других ответственных деталей компрессора ГТД ВИАМ/ 2012-206071 Защитные и упрочняющие ионно-плазменные покрытия для лопаток и других ответственных деталей компрессора ГТД С.А. Мубояджян доктор технических наук Д.А. Александров Д.С. Горлов Л.П. Егорова

Подробнее

Методы формирования наноразмерных тонких пленок в вакууме.

Методы формирования наноразмерных тонких пленок в вакууме. Методы формирования наноразмерных тонких пленок в вакууме. д.т.н. Григорьянц А.Г., к.т.н. Мисюров А.И., аспирант Макаров В.В. Проведен анализ вакуумных методов формирования квантоворазмерных наноструктур.

Подробнее

Получение пленок оксида церия на сапфире методом ВЧ магнетронного распыления

Получение пленок оксида церия на сапфире методом ВЧ магнетронного распыления Письма в ЖТФ, 1999, том 25, вып. 11 12 июня 11;12 Получение пленок оксида церия на сапфире методом ВЧ магнетронного распыления Е.К. Гольман, С.В. Разумов, А.В. Тумаркин Государственный электротехнический

Подробнее

ТИПОВАЯ ПРОГРАММА ОБУЧЕНИЯ ПО НАПРАВЛЕНИЮ «ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ ВАКУУМНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ В ОПТИКЕ»

ТИПОВАЯ ПРОГРАММА ОБУЧЕНИЯ ПО НАПРАВЛЕНИЮ «ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ ВАКУУМНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ В ОПТИКЕ» ТИПОВАЯ ПРОГРАММА ОБУЧЕНИЯ ПО НАПРАВЛЕНИЮ «ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ ВАКУУМНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ В ОПТИКЕ» ВВЕДЕНИЕ «ОБЩЕИНЖЕНЕРНАЯ ЭРУДИЦИЯ» Первичные определения и понятия о тонких пленках, вакуумных методах

Подробнее

Развитие энергосберегающих технологий на высокодисперсных ферритах

Развитие энергосберегающих технологий на высокодисперсных ферритах Развитие энергосберегающих технологий на высокодисперсных ферритах Полищук ВЕ, Полищук ИВ, Демьянчук БА, Макордей ФВ, Шевченко ГН Одесский государственный университет им ИИ Мечникова Операция температурного

Подробнее

Курс лекций: «Моделирование и проектирование микро- и наносистем»

Курс лекций: «Моделирование и проектирование микро- и наносистем» Курс лекций: «Моделирование и проектирование микро- и наносистем» Лекция 13: «Конструктивно-технологические варианты реализации тонко- и толстопленочных микросборок» Лектор: д.т.н., доцент И.Е.Лысенко

Подробнее

ПРОГРЕССИВНЫЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ МОДИФИКАЦИИ ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ ТВЕРДЫХ СПЛАВОВ

ПРОГРЕССИВНЫЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ МОДИФИКАЦИИ ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ ТВЕРДЫХ СПЛАВОВ Электронный научно-технический журнал Октябрь 2008 года http://www.bru.mogilev.by ПРОГРЕССИВНЫЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ МОДИФИКАЦИИ ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ ТВЕРДЫХ СПЛАВОВ Е.С. АХРАЛОВИЧ, М.А. БЕЛАЯ, В.М. ШЕМЕНКОВ,

Подробнее

Мобильное оборудование для газотермического напыления защитных покрытий. Сфера применения, особенности.

Мобильное оборудование для газотермического напыления защитных покрытий. Сфера применения, особенности. Мобильное оборудование для газотермического напыления защитных покрытий. Сфера применения, особенности. Докладчик: Начальник технического отдела ЗАО «Плакарт» Калугин Денис E-mail: d.kalugin@plackart.com

Подробнее

Рис.1. Изображение автоэмиссионной матрицы на подложке из глазурированнной керамики ВК-94

Рис.1. Изображение автоэмиссионной матрицы на подложке из глазурированнной керамики ВК-94 В 2008 году фирмой L-3 Communications-ED была разработана ЛБВ С-диапазона с применением автоэмиссионного катода. При скважности 100 был достигнут ток 120 ма, выходная мощность 100 Вт на частоте 5,0 ГГц.

Подробнее

УДК : ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОТОПОГРАФИИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЁНОК Al 2 O 3, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ НИЗКОМ ДАВЛЕНИИ

УДК : ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОТОПОГРАФИИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЁНОК Al 2 O 3, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ НИЗКОМ ДАВЛЕНИИ УДК 539.23: 681.723.7 ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОТОПОГРАФИИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЁНОК Al 2 O 3, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ НИЗКОМ ДАВЛЕНИИ В.В. Тесленко-Пономаренко Окончила Харьковский Национальный

Подробнее

НАУЧНЫЙ ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЦЕНТР МИНИСТЕРСТВА ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ УКРАИНЫ И НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ. Турбин Петр Васильевич

НАУЧНЫЙ ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЦЕНТР МИНИСТЕРСТВА ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ УКРАИНЫ И НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ. Турбин Петр Васильевич НАУЧНЫЙ ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЦЕНТР МИНИСТЕРСТВА ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ УКРАИНЫ И НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ На правах рукописи Турбин Петр Васильевич УДК 621.384.653.539.12.04 ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ

Подробнее

СОЧУГОВ НИКОЛАЙ СЕМЕНОВИЧ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ

СОЧУГОВ НИКОЛАЙ СЕМЕНОВИЧ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ На правах рукописи СОЧУГОВ НИКОЛАЙ СЕМЕНОВИЧ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ 05.27.02 вакуумная и плазменная электроника

Подробнее

Теплофизика и аэромеханика, 2005, том 12, 4 ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМОХИМИЧЕСКИХ КАТОДОВ В ДУГОВЫХ ПЛАЗМОТРОНАХ

Теплофизика и аэромеханика, 2005, том 12, 4 ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМОХИМИЧЕСКИХ КАТОДОВ В ДУГОВЫХ ПЛАЗМОТРОНАХ Теплофизика и аэромеханика, 2005, том 12, 4 УДК 533. 924 ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМОХИМИЧЕСКИХ КАТОДОВ В ДУГОВЫХ ПЛАЗМОТРОНАХ А.С. АНЬШАКОВ, Э.К. УРБАХ, А.Э. УРБАХ, В.А. ФАЛЕЕВ Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе

Подробнее

01;04;10. K m =(m 0. m e eb E z. R L E z B y.

01;04;10. K m =(m 0. m e eb E z. R L E z B y. 01;04;10 Расчет профиля выработки катода для магнетронных систем ионного распыления И.Ю. Бурмакинский, А.В. Рогов Российский научный центр Курчатовский институт, 123182 Москва, Россия e-mail: alex-rogov@yandex.ru

Подробнее

1. Какие возможны коррозионные процессы при погружении кобальтовых пластин скрепленных железными болтами в водный раствор рн 7?

1. Какие возможны коррозионные процессы при погружении кобальтовых пластин скрепленных железными болтами в водный раствор рн 7? ВАРИАНТ 1 1. Какие процессы протекают при электрохимической коррозии хромированного железного изделия в водном растворе с рн

Подробнее

Программа дисциплины

Программа дисциплины МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Федеральное государственное автономное учреждение высшего профессионального образования "Казанский (Приволжский) федеральный университет" Институт

Подробнее

«ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»

«ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ» ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ» В.П. Кривобоков, Н.С. Сочугов, А.А Соловьёв ПЛАЗМЕННЫЕ

Подробнее

Сильноточный широкоапертурный электронный пучок в разряде с повышенной ионизацией газа при давлении до десятков TORR

Сильноточный широкоапертурный электронный пучок в разряде с повышенной ионизацией газа при давлении до десятков TORR 26 июня 04;10 Сильноточный широкоапертурный электронный пучок в разряде с повышенной ионизацией газа при давлении до десятков TORR А.Р. Сорокин Институт физики полупроводников СО РАН, Новосибирск E-mail:

Подробнее

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ ПРОГРАММА

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ ПРОГРАММА Приложение 40 к протоколу МГС 39-2011 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ ПРОГРАММА РАБОТ ПО РАЗРАБОТКЕ АТТЕСТОВАННЫХ ДАННЫХ О ФИЗИЧЕСКИХ КОНСТАНТАХ И СВОЙСТВАХ ВЕЩЕСТВ

Подробнее

Math-Net.Ru Общероссийский математический портал

Math-Net.Ru Общероссийский математический портал Math-Net.Ru Общероссийский математический портал Д. П. Грдличко, Р. Б. Ших, Исследование разряда с полым катодом в парах цезия, ТВТ, 1977, том 15, выпуск 4, 708 711 Использование Общероссийского математического

Подробнее

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧЕРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

Подробнее

АНАЛИЗ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ ПРОЦЕССА МИКРОДУГОВОГО ОКСИДИРОВАНИЯ АЛЮМИНИЕВЫХ СПЛАВОВ

АНАЛИЗ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ ПРОЦЕССА МИКРОДУГОВОГО ОКСИДИРОВАНИЯ АЛЮМИНИЕВЫХ СПЛАВОВ УДК 621.791 Пономарев И. С., Кривоносова Е. А. ПНИПУ, г. Пермь АНАЛИЗ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ ПРОЦЕССА МИКРОДУГОВОГО ОКСИДИРОВАНИЯ АЛЮМИНИЕВЫХ СПЛАВОВ В данной статье проведен анализ процесса микродугового

Подробнее

РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ. (73) Патентообладатель: Государственное

РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ. (73) Патентообладатель: Государственное ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ (12) РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ (19) BY (11) 9794 (13) C1 (46) 2007.10.30 (51) МПК (2006) B 29C 33/56 C 23C 14/06 (54) ФОРМА ДЛЯ

Подробнее

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ. На правах рукописи. Соловьев Андрей Александрович

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ. На правах рукописи. Соловьев Андрей Александрович РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ На правах рукописи Соловьев Андрей Александрович УСТРОЙСТВА СО СКРЕЩЕННЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ И МАГНИТНЫМ ПОЛЯМИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

Подробнее

Государственный университет «Дубна»

Государственный университет «Дубна» Разработка технологии вакуумного осаждения для серийного производства гибких фотоэлектрических модулей на основе сульфида и теллурида кадмия Государственный университет «Дубна» Общая информация о проекте

Подробнее

C N M G 12. Система обозначения по ISO пластин для токарной обработки. ISO Turning Inserts. ISO Turning Inserts H O P S T C D E F M V L A B K R W

C N M G 12. Система обозначения по ISO пластин для токарной обработки. ISO Turning Inserts. ISO Turning Inserts H O P S T C D E F M V L A B K R W Система обозначения пластин для токарной обработки N G 1 1 3 5 H O P S T D E V L B K R W Форма пластины 1 135 18 9 8 55 75 5 8 35 9 85 8 55-8 Задний угол B D E G N P O Класс точности H E G J* K* L* * U*

Подробнее

М Е Т О Д И Ч Е С К О Е П О С О Б И Е

М Е Т О Д И Ч Е С К О Е П О С О Б И Е Министерство образования Иркутской области ГБОУ СПО ИО «Ангарский политехнический техникум» М Е Т О Д И Ч Е С К О Е П О С О Б И Е ПО ТЕМЕ: «ФЛАНЦЕВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ. РАСЧЁТ ОРИЕНТИРО- ВОЧНОГО ЧИСЛА БОЛТОВ

Подробнее

ИССЛЕДОВАНИЕ ДВИЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ В ГАЗОВОМ РАЗРЯДЕ В СМЕСИ «АРГОН ПАРЫ РТУТИ»

ИССЛЕДОВАНИЕ ДВИЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ В ГАЗОВОМ РАЗРЯДЕ В СМЕСИ «АРГОН ПАРЫ РТУТИ» ИССЛЕДОВАНИЕ ДВИЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ В ГАЗОВОМ РАЗРЯДЕ В СМЕСИ «АРГОН ПАРЫ РТУТИ» Г.Г. Бондаренко 1, В.И. Кристя 2, М.Р. Фишер 2 1 ФГБНУ «Научно-исследовательский институт перспективных материалов и технологий»;

Подробнее

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СИНХРОТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ КАЛЬЦИЙ-ФОСФАТНЫХ ПЛЁНОК НА ПОВЕРХНОСТИ МЕДИЦИНСКИХ ИМПЛАНТАТОВ

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СИНХРОТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ КАЛЬЦИЙ-ФОСФАТНЫХ ПЛЁНОК НА ПОВЕРХНОСТИ МЕДИЦИНСКИХ ИМПЛАНТАТОВ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СИНХРОТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ КАЛЬЦИЙ-ФОСФАТНЫХ ПЛЁНОК НА ПОВЕРХНОСТИ МЕДИЦИНСКИХ ИМПЛАНТАТОВ Беркин А.Б., Дерябина В.В., Шарафутдинов М.Р.*, Шемякина И.В.** Новосибирский

Подробнее

Ж.М. Бледнова, Н.А. Махутов, М.И. Чаевский ПОВЕРХНОСТНОЕ МОДИФИЦИРОВАНИЕ МАТЕРИАЛАМИ С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ ФОРМЫ

Ж.М. Бледнова, Н.А. Махутов, М.И. Чаевский ПОВЕРХНОСТНОЕ МОДИФИЦИРОВАНИЕ МАТЕРИАЛАМИ С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ ФОРМЫ Ж.М. Бледнова, Н.А. Махутов, М.И. Чаевский ПОВЕРХНОСТНОЕ МОДИФИЦИРОВАНИЕ МАТЕРИАЛАМИ С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ ФОРМЫ Краснодар 2009 УДК 620.1 ББК 30.3 Б 68 Рецензенты: доктор технических наук, профессор Л.Р. Ботвина;

Подробнее

Исследование процесса сухого травления нитрида алюминия ионным пучком

Исследование процесса сухого травления нитрида алюминия ионным пучком 26 июня 06;10;12 Исследование процесса сухого травления нитрида алюминия ионным пучком Д.М. Демидов, Р.В. Леус, В.П. Чалый Центр перспективных технологий и разработок, С.-Петербург Поступило в Редакцию

Подробнее

Современные конструкционные материалы. Лекция 3. Цветные металлы иихсплавы

Современные конструкционные материалы. Лекция 3. Цветные металлы иихсплавы Современные конструкционные материалы Лекция 3. Цветные металлы иихсплавы Введение Сегодня в металлургии насчитывается более 60 металлов и на их основе свыше 5000 сплавов. Цветные металлы и их сплавы это

Подробнее

ФИЗИКА на служении материаловедения и нанотехнологий

ФИЗИКА на служении материаловедения и нанотехнологий ФИЗИКА на служении материаловедения и нанотехнологий ЧТО ОЗНАЧАЕТ ПРИСТАВКА «НАНО»? Приставка «НАНО» (от греч. «nannos» карлик, гномик, множитель приставки 10-9 м) прочно вошла в современный научно-технический

Подробнее

Электрофизические свойства тонких пленок Ba x Sr1 TiO3 различного состава в СВЧ диапазоне

Электрофизические свойства тонких пленок Ba x Sr1 TiO3 различного состава в СВЧ диапазоне 26 августа 05.2;09;12 Электрофизические свойства тонких пленок Ba x Sr 1 x TiO 3 различного состава в СВЧ диапазоне С.В. Разумов, А.В. Тумаркин Государственный электротехнический университет (ЛЭТИ), С.-Петербург

Подробнее

Т е м а 11. ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ ОБРАБОТКА. Содержание Общая характеристика и назначение метода

Т е м а 11. ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ ОБРАБОТКА. Содержание Общая характеристика и назначение метода Т е м а 11. ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ ОБРАБОТКА Цель изучение технологических возможностей электроэрозионной обработки, основных узлов электроэрозионного копировальнопрошивочного станка, рабочего инструмента;

Подробнее

9. РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ, МАСС- СПЕКТРОМЕТРИЯ, РАССЕЯНИЕ СВЕТА

9. РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ, МАСС- СПЕКТРОМЕТРИЯ, РАССЕЯНИЕ СВЕТА 9. РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ, МАСС- СПЕКТРОМЕТРИЯ, РАССЕЯНИЕ СВЕТА Самый прямой способ определения размеров наночастиц это исследование на просвечивающем электронном микроскопе. Другой способ определения

Подробнее

«КОРРОЗИЯ И СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ПРОТИВОКОРРОЗИОННОЙ ЗАЩИТЫ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ»

«КОРРОЗИЯ И СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ПРОТИВОКОРРОЗИОННОЙ ЗАЩИТЫ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ» ФГУП «ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ» ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Программа дополнительного профессионального образования (Повышение квалификации)

Подробнее

Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку

Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку Журнал технической физики, 04, том 84, вып. 0 Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку Л.П. Амосова, М.В. Исаев Санкт-Петербургский национальный исследовательский

Подробнее

МЕТОДОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ 2008

МЕТОДОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ 2008 УДК 621.726:621.78 ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ ПОСЛЕ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ МЕТОДОМ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДА КЕЛЬВИНА Н.А. Шипица 1, А.Л. Жарин 1, А.В. Белый 1, Д.И. Сарока

Подробнее

БАКАЛАВРСКАЯ РАБОТА Тема работы ИССЛЕДОВАНИЕ АЛЮМИНИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ МАГНЕТРОННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ С ЖИДКОФАЗНОЙ МИШЕНЬЮ

БАКАЛАВРСКАЯ РАБОТА Тема работы ИССЛЕДОВАНИЕ АЛЮМИНИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ МАГНЕТРОННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ С ЖИДКОФАЗНОЙ МИШЕНЬЮ Министерство образования и науки Российской Федерации федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»

Подробнее

Cварка легированных сталей. Илья Мельников

Cварка легированных сталей. Илья Мельников Cварка легированных сталей Илья Мельников 2 3 Илья Мельников Cварка легированных сталей 4 ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ Легированные стали подразделяют на низколегированные (с содержанием легирующих компонентов,

Подробнее

Кристаллические решётки. Дегтярёва М.О. ЛНИП

Кристаллические решётки. Дегтярёва М.О. ЛНИП Кристаллические решётки Дегтярёва М.О. ЛНИП В твердых телах атомы могут размещаться в пространстве двумя способами Беспорядочное расположение атомов, когда они не занимают определенного места друг относительно

Подробнее

Электрохимическое осаждение пленок сульфида свинца из свинцового комплекса фуллеренола

Электрохимическое осаждение пленок сульфида свинца из свинцового комплекса фуллеренола Электрохимическое осаждение пленок сульфида свинца из свинцового комплекса фуллеренола Козеев А.А. alex.kozeev@yandex.ru Сульфид свинца PbS, являющийся полупроводником, считается перспективным материалом

Подробнее