Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы.

Save this PDF as:
 WORD  PNG  TXT  JPG

Размер: px
Начинать показ со страницы:

Download "Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы."

Транскрипт

1 Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы. Ю.В.Агабеков, А.М.Сутырин Из кн. Труды постоянно действующего научно-технического семинара. "Электровакуумная техника и технология" (за 1997/98 гг.), Москва, 1999 г., сс В настоящее время магнетронное распыление является одним из основных широко распространенных вакуумных методов нанесения тонкопленочных покрытий. Разработка новых магнетронных источников распыления стимулируется, в основном, требованиями новых сфер применения, где возникает острая необходимость в перспективных высококачественных пленках, а также возрастающими требованиями к промышленному производству тонких пленок, такими как: высокая производительность, надежная работа, широкие функциональные и технологические возможности установок для нанесения покрытий. Реальным прорывом в магнетронных методах нанесения покрытий является появление нового поколения магнетронных источников - несбалансированных магнетронов (НМ). За счет особой конфигурации магнитного поля НМ позволяют осуществлять нанесение покрытий, обеспечивая воздействие на поверхность растущей пленки потока ионов плазмы, генерируемой магнетронным разрядом (так, называемое, ионное нанесение покрытий методом магнетронного распыления). Ионная бомбардировка поверхности растущей пленки позволяет регулировать характеристики зародышеобразования, морфологию, химический состав, микроструктуру и напряжение в пленке. Эти возможности обусловлены высокой энергетикой бомбардирующих ионов, приводящей к увеличению мобильности адсорбированных атомов или повторному распылению слабо связанных частиц. Благодаря эффекту атомной проковки ионная бомбардировка позволяет получать плотные беспористые пленки с высокими напряжениями сжатия, имеющие гладкую блестящую поверхность. И, наконец, что особенно актуально, при достаточно высоких уровнях ионного воздействия можно получать так называемые ионные реактивные покрытия (пленки нитридов, карбидов, оксидов металлов), обладающие комплексом экстраординарных механических. теплофизических и оптических свойств (высокой твердостью, износостойкостью, электро- и теплопроводностью, оптической плотностью). Новые возможности, обеспечиваемые магнетронными распылительными системами (МРС) на основе НМ, расширяют или привносят новые функциональные и технологические возможности в промышленном производстве покрытий. Так, возможность нанесения ионных реактивных покрытий при низких (до С) температурах позволяет наносить эти покрытия на перспективные изделия из материалов с низкой температурной стойкостью (например, латуни, алюминиевые и цинкалюминиевые сплавы, пластмассы) или из углеродистых сталей с низкой температурой отпуска. Существенное, по сравнению с обычными магнетронами, увеличение предельных расстояний мишень-подложка (d s-t ), на которых обеспечиваются необходимые условия получения качественных реактивных покрытий (от 50 мм - для обычных магнетронов, до 200мм - для несбалансированных МРС), позволяет, во-первых, увеличить производительность промышленных установок, за счет увеличения размеров эффективной зоны нанесения покрытий, и, во-вторых, наносить покрытия на изделия больших размеров и сложных конфигураций. Ионное воздействие на поверхность растущей пленки описывается следующими параметрами:

2 -плотностью ионного тока j i ; -отношением потока ионов к потоку осажденных атомов (число падающих ионов на осажденный атом) v=n i /n a ; -энергией ионов E i или величиной отрицательного (относительно плазмы) потенциала самосмещения U sb. U sb определяет E i в случаях нанесения диэлектрических пленок или электропроводящих пленок на диэлектрические подложки; при нанесении электропроводящих пленок на электропроводный материал E i может регулироваться величиной потенциала смещения, подаваемого на подложку от внешнего источника. Повышение этих параметров соответствует увеличению интенсивности и энергетики ионного воздействия. Оптимальный уровень ионного воздействия, необходимый для получения высококачественных покрытий, различен в зависимости от вида осаждаемых пленок. Так, для получения высококачественных ионных реактивных пленок нитридов и карбидов металлов (TiN, TiC, ZrN), необходимо обеспечивать ионное воздействие с v>2 и Ei= эв. Качественные диэлектрические оксидные пленки (TiO 2, ZrO 2, Al 2 O 3 ) могут быть получены при умеренном ионном воздействии (v=1...2), но с достаточно высокой энергетикой ионов (Ei>40 эв), которая в этом случае должна обеспечиваться высокими значениями потенциала самосмещения U sb. Для получения плотных беспористых металлических пленок в состоянии сжатия (Al, Cu, Ti, Cr, Mo) предпочтительны низкие уровни ионной поддержки (v=0,1...1,0), так как при более интенсивной ионной бомбардировке возрастание сжимающего напряжения выше определенного предела может привести к разрушению пленки. Экспериментальные исследования в области ионно-плазменного синтеза широкого спектра тонкопленочных структур, понимание принципов построения несбалансированных конфигураций магнетронных распылительных устройств и созданная методология их проектирования позволила специалистам фирмы разработать высокоэффективные схемы НМ. Созданные МРС представляют собой одно- или двухкатодные несбалансированные системы с открытой или закрытой магнитной конфигурацией. Каждая из представляемых систем ориентирована на определенную сферу применения и может быть классифицирована по уровню ионного воздействия, определяемого величиной параметра v. Классификация несбалансированных МРС Класс несбалансированной МРС Уровень ионного воздействия Величина определяющего параметра v* А низкий 0,1...1 В умеренный С высокий D сверхвысокий > 10 Основной вид получаемых покрытий и другие применения Плотные металлические пленки. Плотные металлические и оксидные пленки. Ионные реактивные покрытия (нитриды, карбиды, оксиды). Новые сверхплотные структуры, ион. источники с высокой плотностью тока. * Величина v определяется при распылении титановой мишени в атмосфере аргона.

3 Фирмой разработаны промышленные МРС, учитывающие современные требования производства покрытий (оптимальный для определенного вида покрытий уровень ионного воздействия, большие размеры эффективной зоны). Представляют интерес последние разработки фирмы - несбалансированные системы со сверхвысоким уровнем ионного воздействия (НМС-Д-160, НМС-Д-160СФ). Данные системы разработаны, в основном, для исследовательских целей. Возможные сферы их промышленного применения в настоящее время изучаются. Промышленные несбалансированные МРС с усиленной ионизацией плазмы. Определяющими характеристиками промышленных несбалансированных МРС являются - требуемый уровень ионного воздействия и размеры эффективной зоны нанесения покрытий. Фирмой разработаны промышленные несбалансированные МРС различного класса, в которых используются магнитные системы, оптимизированные по данным характеристикам. Разработанные системы представляют собой, в основном, двухкатодные (ДК) несбалансированные магнетронные распылительные системы (НМС) с замкнутой магнитной конфигурацией. Данная конфигурация существенно усиливая степень ионизации плазмы позволяет обеспечивать наиболее высокий уровень ионного воздействия. НМ, входящие в двухкатодную систему, размещаются по схеме face-to-face и представляют собой прямоугольные планарные магнетроны с магнитной системой, выполненной на постоянных магнитах типа NdFeB. Конструкция магнетронов позволяет устанавливать их как на фланцевом соединении в стенке камеры, так и внутри объема вакуумной камеры. Технические характеристики промышленных несбалансированных МРС. Характеристики МРС НМС-С- 500ДК НМС-В- 1200ДК НМ-А-500 НМ-В- 65МК *** Размер мишени, мм х65 6 штук Толщина мишени, мм Плотность мощности на мишени, Вт/см 2 Диапазон рабочих давлений, ,1...1 Па Размеры эффективной зоны (ширина х глубина), мм х160 j i по ширине эффективной (20) (40) (20) 0,7...4 (10) зоны*, ма/см 2 ν по ширине эффективной зоны ,2...2,0 U sb в диапазоне рабочих давлений, В Скорость нанесения ,1 покрытий**, мкм/мин Габариты НМ (длина х х75х55 ширина х высота), мм Тип охлаждения мишени прямой прямой прямой прямой * Измерено при распылении титана в аргоне при давлении 0,2 Па; в скобках указано значение номинального разрядного тока в А.

4 ** На расстоянии d s-t =150 мм, при распылении титана в аргоне с номинальным разрядным током. *** НМ-В-65МК- мультикатодный магнетрон с шестью автономными катодами-мишенями. Разработанная методология построения и оптимизации промышленных несбалансированных МРС с усиленной ионизацией плазмы позволяет создавать эффективные распылительные системы для нанесения широкого спектра высококачественных тонкопленочных покрытий различного назначения.при этом в зависимости от конкретных производственных требований промышленные несбалансированные МРС могут быть изготовлены в широком диапазоне размеров (длиной от 100 до 2000мм). Несбалансированные МРС со сверхвысоким уровнем ионного воздействия. Синтез высококачественных реактивных ионных покрытий промышленного применения успешно осуществляется с помощью несбалансированных МРС с уровнем ионного воздействия v =2-10 (класс С по принятой классификации). Однако, научный и в перспективе, промышленный интерес представляет получение и исследование свойств новых тонкопленочных метастабильных структур, синтезированных в условиях сверхвысокого ионного воздействия (v>>10). С целью получения подобных структур разработаны несбалансированные МРС со сверхвысоким уровнем ионного воздействия: системы НМС-Д-160 и НМС-Д160СФ. Конструктивно каждая система состоит из круглого НМ с особой магнитной конфигурацией и дополнительной магнитной системы, выполненной на постоянных магнитах. Меняя расположение дополнительной магнитной системы относительно НМ, можно в широких пределах регулировать характеристики МРС. Некоторые конструктивные и рабочие характеристики МРС приведены в таблице. Характеристики МРС НМС-Д-160 НМС-Д-160СФ Диаметр мишени, мм Толщина мишени, мм Диапазон рабочих давлений, Па Ток разряда НМ, А до 15 до 15 Габариты НМ (диаметр х высота), мм Тип охлаждения прямой прямой Система НМС-Д-160 предназначена, в основном, для синтеза новых диэлектрических структур, определяющим параметром которого является величина потенциала самосмещения U sb. Конструкция данной системы обеспечивает возможность работы на очень низких давлениях Р=0,02 Па при уровне ионного воздействия v=12 и величине плавающего потенциала U sb = - 74 В. Параметры НМС-Д- 160 в широком диапазоне рабочих давлений приведены на рис. 1,2.

5 Рис.1.Зависимость разрядного напряжения Ud, плотности ионного тока j i и потенциала самосмещения U sb от давления аргона Р при распылении Ti- мишени. Ток разряда I d =4А, расстояние d s-t =150 мм. Рис.2 Зависимость плотности ионного тока j i, потенциала самосмещения Usb и отношения ион/атом v от радиального расстояния R (от оси НМ) при распылении Ti-мишени. Давление аргона P=0.03 Пa, I d =4 A, ds-t=150 мм. Система НМС-Д-160СФ принципиально отличается от других несбалансированных МРС наличием особого эффекта, названного эффектом самофокусировки плазмы. Благодаря специальной конструкции магнитной системы НМ, данная МРС наряду с эффективным распылением мишени, обеспечивает резкое увеличение ионного потока вдоль оси НМ, формируя относительно узкий пучок высокоплотной сильно ионизированной плазмы. При разрядном токе магнетрона I d =15 А плотность ионного тока в пучке составляет более 100 ма/см2 при значении v>60. Параметры данной системы представлены на рис.3, 4. Рис 3. Зависимость плотности ионного тока ji и потенциала самосмещения Usb от давления аргона Р при распылении Ti-мишени Ток разряда I d = 10 A, расстояние d s-t =150 мм. Рис.4. Зависимость плотности ионного тока j i и отношения ион/атом v от радиального расстояния R (от оси НМ) при распылении Ti - мишени. Давление аргона P=0.3 Пa, I d =10 A, d s-t =150 мм. Экстремально высокая плотность ионного потока в осевом плазменном пучке, близкая к 100% степень его ионизации, легко реализуемая возможность варьировать в широких пределах параметры ионного воздействия, а также простота конструктивного исполнения делают систему НМС-Д-160СФ удобным и эффективным инструментом для синтеза новых метастабильных структур перспективных композиций реактивных пленок.

6 Принцип построения магнитной системы обеспечивающей эффект самофокусировки плазмы, реализованный в круглом (осесимметричном) магнетроне, позволяет также получать подобные источники протяженных (линейных) конфигураций (прямоугольные планарные НМ). Это делает возможным разработку промышленных МРС со сверхвысоким уровнем ионного воздействия. Промышленное использование несбалансированных МРС. В настоящее время несбалансированные МРС нашли применение в выпускаемых НПФ Практик промышленных вакуумных установках для нанесения ионных покрытий серии УНИП. Для этих установок разработаны технологии нанесения защитно-декоративных покрытий для ряда изделий широкого потребления: корпусов и браслетов наручных часов, оправ для очков, фурнитуры различного назначения. Основные технологии ионных защитно-декоративных покрытий Тип покрытия Хром Титан Цирконий Нитрид хрома Нитрид титана Нитрид титана Нитрид циркония Нитрид циркония Оксид титана (циркония) Сплавы золота Цвет, характерные свойства голубовато-серый темно-серый светло-серый черный, серо-черный, повышенная износостойкость аметистовый, повышенная износостойкость золотисто-бронзовый, повышенная износостойкость светло-золотистый, повышенная износостойкость все оттенки коричневого,повышенная износостойкость голубой, многоцветный (под перламутр) розовый, красновато-желтый, желтый Установки УНИП-700ДК с системами НМС-С-600ДК и НМС-В-600-ДК используются в серийном производстве Чистопольского часового завода Восток для нанесения декоративных защитно-упрочняющих покрытий нитридов титана, циркония, металлического хрома и циркония на латунные корпуса часов. Плотная беспористая микрокристаллитная структура ионных покрытий, получаемых с помощью несбалансированных магнетронов, используемых в установке, обеспечивает высокий уровень антикоррозионной защиты таких материалов как латунь, медно-никелиевые сплавы, цинк-алюминиевые сплавы и др. Это позволило исключить предварительное нанесение гальванического подслоя хрома (никеля) при нанесении TiN- покрытий на латунные корпуса наручных часов. Корпуса с ионными TiN-покрытиями или с металлическими покрытиями Zr, Ti, Cr толщиной 0,8-1,2 мкм выдерживают испытания на износостойкость, а также коррозионную стойкость и защитную способность в трех средах (серосодержащие агенты, искусственный пот, уксусно-кислая среда) в соответствии с ОСТ Тогда, как прохождение тех же испытаний корпусов покрытых гальваническим Cr обеспечивается при толщинах покрытия 3-6 мкм.

7 Установка УНИП-400 с магнетронами НМ-В-65МК используется для нанесения ионных покрытий золота на изделия ювелирной бижутерии в АО Сахаювелир. На установках УНИП-600 ДК в НПФ Практик осуществляется серийное производство защитно-декоративных покрытий на оправы для очков объемом более 15 тыс. шт. в месяц. Технологические возможности созданных несбалансированных МРС не ограничиваются получением высококачественных защитно-декоративных покрытий. В стадии завершения находится разработка технологии нанесения защитноупрочняющих TiN - покрытий на лезвийный и фасонный режущий инструмент, которые по своим свойствам не уступают аналогичным покрытиям, полученным модифицированными ( бескапельными ) методами вакуумного-дугового испарения.

Нанесение покрытий с использованием несбалансированных магнетронов.

Нанесение покрытий с использованием несбалансированных магнетронов. Нанесение покрытий с использованием несбалансированных магнетронов. Схема процесса нанесения покрытий методом магнетронного распыления с использованием несбалансированных магнетронов (НМ) показана на рис.1.

Подробнее

Ñîäåðæàíèå. Предисловие 11. Введение 12

Ñîäåðæàíèå. Предисловие 11. Введение 12 Ñîäåðæàíèå Предисловие 11 Введение 12 Глава 1. Пробои на катоде магнетрона 16 1.1. Что такое пробой 16 1.2. Механизм возникновения пробоев на катоде 17 1.3. Причины пробоев на катоде при реактивном магнетронном

Подробнее

Вакуумные установки серий Ника-2012 и Ника-2013

Вакуумные установки серий Ника-2012 и Ника-2013 Берлин Е. В., Григорьев В. Ю. Вакуумные установки серий Ника-2012 и Ника-2013 ВТТ 2015 Санкт-Петербург Серия «Ника-2012» Современный аналог колпаковых машин серии УВН-71. Состав: Камера нерж. Ø400х350

Подробнее

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ООО Прикладная Электроника РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ РАЗМЕЩЕНИЯ ВНУТРИ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ APEL-MR-IN ТОМСК 2013 ОГЛАВЛЕНИЕ 1. ВВЕДЕНИЕ...3 2. НАЗНАЧЕНИЕ...3 3. СОСТАВ

Подробнее

УДК Иващенко С.А., Койда С.Г. ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗМЕНЕНИЕ МИКРОТВЁРДОСТИ ПОКРЫТИЯ

УДК Иващенко С.А., Койда С.Г. ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗМЕНЕНИЕ МИКРОТВЁРДОСТИ ПОКРЫТИЯ внутренняя энергия системы взаимодействующих частиц не меняется, то перезарядка называется резонансной, что характерно для взаимодействия иона и атома одного вещества [3]. Данный процесс применительно

Подробнее

Исследованы параметры аномального тлеющего разряда в вакууме и разработана ионно-плазменная технология получения широкополосных стоматологических

Исследованы параметры аномального тлеющего разряда в вакууме и разработана ионно-плазменная технология получения широкополосных стоматологических УДК 539.216.2, 621.793.18 Р. Т. Галяутдинов, М. В. Елхин, Н. Ф. Кашапов АНОМАЛЬНЫЙ ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД В ВАКУУМЕ В ПРОЦЕССЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКООТРАЖАЮЩИХ СТОМАТОЛОГИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ Ключевые слова: аномально тлеющий

Подробнее

Регулирование механических свойств углеродных покрытий путем их многокомпонентного легирования

Регулирование механических свойств углеродных покрытий путем их многокомпонентного легирования Регулирование механических свойств углеродных покрытий путем их многокомпонентного легирования 1. Цели и задачи исследования Разработка методов получения твердых, износостойких покрытий на основе углерода

Подробнее

С. Н. Бобраков (1), зам. гл. инженера, к.т.н. В. Д. Малыгин (1), зам. гл. инженера, к.т.н. Г. П. Малышев (2), профессор, к.т.н.

С. Н. Бобраков (1), зам. гл. инженера, к.т.н. В. Д. Малыгин (1), зам. гл. инженера, к.т.н. Г. П. Малышев (2), профессор, к.т.н. УДК 621.793.6:669.35 С. Н. Бобраков (1), зам. гл. инженера, к.т.н. В. Д. Малыгин (1), зам. гл. инженера, к.т.н. Г. П. Малышев (2), профессор, к.т.н. МАГНЕТРОННЫЙ МЕТОД НАНЕСЕНИЯ СЕРЕБРЯНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ

Подробнее

Вакуумные технологии НПФ «Элан-Практик»

Вакуумные технологии НПФ «Элан-Практик» Защитно-декоративные керамические покрытия на изделиях массового потребления вакуумные технологии и оборудование с использованием несбалансированных магнетронов Ю.В. Агабеков, НПФ"Элан-Практик" Из кн.

Подробнее

Оптимизация кинематических режимов магнетронного напыления на основе расчета неравномерности покрытия

Оптимизация кинематических режимов магнетронного напыления на основе расчета неравномерности покрытия УДК 621.793 Оптимизация кинематических режимов магнетронного напыления на основе расчета неравномерности покрытия Введение Демидов П.С., студент Россия, 105005, г. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра

Подробнее

Оптические пленки, напыленные с ионным ассистированием при помощи источника HCS Е.В. Клюев

Оптические пленки, напыленные с ионным ассистированием при помощи источника HCS Е.В. Клюев Оптические пленки, напыленные с ионным ассистированием при помощи источника HCS Е.В. Клюев ООО «Ионные источники и Технологии», Московская область, Россия. Нанесение оптических покрытий с ионным ассистированием

Подробнее

Вакуумные методы нанесения покрытий. ООО «Лаборатория вакуумных технологий», Зеленоград

Вакуумные методы нанесения покрытий. ООО «Лаборатория вакуумных технологий», Зеленоград Вакуумные методы нанесения покрытий ООО «Лаборатория вакуумных технологий», Зеленоград Преимущества вакуумных методов Неагрессивная среда Стабильность технологии Низкие эксплуатационные расходы Экологичность

Подробнее

ОБОРУДОВАНИЕ, ВЫПУСКАЕМОЕ ВИАМ

ОБОРУДОВАНИЕ, ВЫПУСКАЕМОЕ ВИАМ ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ОБОРУДОВАНИЕ, ВЫПУСКАЕМОЕ ВИАМ ВИАМ предлагает изготовление и поставку оборудования

Подробнее

Влияние парциального состава газовой смеси на характеристики магнетронного разряда с алюминиевым катодом

Влияние парциального состава газовой смеси на характеристики магнетронного разряда с алюминиевым катодом УДК 67.05 Влияние парциального состава газовой смеси на характеристики магнетронного разряда с алюминиевым катодом Зимин Д.Д., студент Россия, 105005, г. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра «Плазменные

Подробнее

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК РАСПЫЛЕНИЕМ МАТЕРИАЛА ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК РАСПЫЛЕНИЕМ МАТЕРИАЛА ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ УДК 621.923 ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК РАСПЫЛЕНИЕМ МАТЕРИАЛА ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ С.И.Шкурат, кандидат химических наук, доцент Национальный кораблестроительный университет им.адм. Макарова П.Н.Полянский, асистент

Подробнее

Содержание. Введение... 8

Содержание. Введение... 8 Содержание Введение... 8 ЧАСТЬ 1. НАПЫЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК...11 Глава 1. Технологические особенности нанесения резистивных слоев...11 1.1 Резисторы из силицидов тугоплавких металлов...11 1.2. Способы получения

Подробнее

RU (11) (51) МПК H01J 37/30 ( ) C23C 14/00 ( )

RU (11) (51) МПК H01J 37/30 ( ) C23C 14/00 ( ) РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ (19) RU (11) (51) МПК H01J 37/30 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01) 172 351 (13) U1 R U 1 7 2 3 5 1 U 1 ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ (12) ОПИСАНИЕ ПОЛЕЗНОЙ МОДЕЛИ

Подробнее

ЭЛЕМЕНТ ПАМЯТИ МЕМРИСТОРНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК TiО 2 TiO x НАНОМЕТРОВОЙ ТОЛЩИНЫ

ЭЛЕМЕНТ ПАМЯТИ МЕМРИСТОРНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК TiО 2 TiO x НАНОМЕТРОВОЙ ТОЛЩИНЫ УДК 537.226.83 ЭЛЕМЕНТ ПАМЯТИ МЕМРИСТОРНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК TiО 2 TiO x НАНОМЕТРОВОЙ ТОЛЩИНЫ С.Г. Нагайчук, Д.П. Аргунов, П.А. Змановский Разработан метод получения тонких пленок TiO x, получены

Подробнее

Ионно-плазменные технологии и оборудование

Ионно-плазменные технологии и оборудование Ионно-плазменные технологии и оборудование ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ ПО ОБРАБОТКЕ ЛИСТОВОГО СТЕКЛА: СЕРИЯ «ОПАЛ» Предназначены для осаждения низкоэмиссионных, отражающих и тонирующих покрытий на лстовое

Подробнее

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ООО Прикладная Электроника РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ APEL-IS-21CELL ТОМСК 2013 ОГЛАВЛЕНИЕ 1. ВВЕДЕНИЕ...3 2. НАЗНАЧЕНИЕ...3 3. СОСТАВ ИИ...3 4. ПРИНЦИП РАБОТЫ

Подробнее

Типовая программа повышения квалификации по курсу «Технология вакуумных тонкопленочных покрытий в оптике»

Типовая программа повышения квалификации по курсу «Технология вакуумных тонкопленочных покрытий в оптике» Типовая программа повышения квалификации по курсу «Технология вакуумных тонкопленочных покрытий в оптике» п/п Лекционные занятия Варианты курсов Прим. Наименование раздела, темы «Оператор» 0лк 0 пр., нед.

Подробнее

ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ РАЗВИТИЯ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ

ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ РАЗВИТИЯ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ РАЗВИТИЯ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ Абдулкаев Э.Р., Осипов Е.В. Оренбургский государственный университет Аэрокосмический институт, г. Оренбург Внедрение композиционных

Подробнее

Получение пленок методом распылительной сушки

Получение пленок методом распылительной сушки Получение пленок методом распылительной сушки Список основных характеристик качества пленки 1. Чистота. В большинстве случаев требуется высокочистая пленка для модификации электрических, магнитных, механических

Подробнее

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ООО Прикладная Электроника РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ПРОТЯЖЕННЫЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ APEL-IS-L200 ТОМСК 2013 1 ОГЛАВЛЕНИЕ 1. ВВЕДЕНИЕ...3 2. НАЗНАЧЕНИЕ...3 3. СОСТАВ ИИ...3 3.

Подробнее

Институт инновационных технологий. Механико-технологический факультет. Кафедра «Технология машиностроения»

Институт инновационных технологий. Механико-технологический факультет. Кафедра «Технология машиностроения» Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Владимирский государственный университет имени

Подробнее

ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ ДЛЯ РЕШЕНИЯ ТРИБОТЕХНИЧЕСКИХ ЗАДАЧ В МАШИНОСТРОЕНИИ

ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ ДЛЯ РЕШЕНИЯ ТРИБОТЕХНИЧЕСКИХ ЗАДАЧ В МАШИНОСТРОЕНИИ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ ДЛЯ РЕШЕНИЯ ТРИБОТЕХНИЧЕСКИХ ЗАДАЧ В МАШИНОСТРОЕНИИ Научный руководитель доктор технических наук, старший научный сотрудник, профессор кафедры материалов реакторостроения и физических

Подробнее

Вакуумная установка нанесения нанокомпозитных покрытий. UniCoaT 700

Вакуумная установка нанесения нанокомпозитных покрытий. UniCoaT 700 Вакуумная установка нанесения нанокомпозитных покрытий Производство всех типов нанокомпозитных покрытий различного назначения (упрочняющих, защитных, трибологических, многофункциональных и др.) для широкого

Подробнее

Рисунок 1 Элементы тепловой защиты ОК «Буран»

Рисунок 1 Элементы тепловой защиты ОК «Буран» Условия работы изделий авиационной техники обуславливают высокие требования к материалам, из которых они изготавливаются. Материалы должны обладать высокой прочностью, коррозионной стойкостью, низким удельным

Подробнее

ITAM SB RAS ITAM SB RAS ITAM SB RAS. Плазменное напыление и плазменная наплавка порошковых покрытий

ITAM SB RAS ITAM SB RAS ITAM SB RAS. Плазменное напыление и плазменная наплавка порошковых покрытий Плазменное напыление и плазменная наплавка порошковых покрытий Контактное лицо: Кузьмин Виктор Иванович, e mail: VI_Kuzmin57@itam.nsc.ru В лаборатории разработаны и прошли промышленные испытания самые

Подробнее

04;12. PACS: Jj

04;12.   PACS: Jj 04;12 Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного пучка В.В. Жуков, В.П. Кривобоков, С.Н. Янин Федеральное государственное научное учреждение Научно-исследовательский институт

Подробнее

ТЕХНОЛОГИИ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЧИСЛЕННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАГНЕТРОННЫХ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ

ТЕХНОЛОГИИ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЧИСЛЕННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАГНЕТРОННЫХ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ Д ОКЛАДЫ БГУИР 2007 ИЮЛЬ СЕНТЯБРЬ 3 (19) ТЕХНОЛОГИИ УДК 533.9.924+621.793.18 МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЧИСЛЕННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАГНЕТРОННЫХ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ С.Н. МЕЛЬНИКОВ, С.П. КУНДАС, И.В. СВАДКОВСКИЙ

Подробнее

ПОВЫШЕНИЕ АДГЕЗИИ ВАКУУМНЫХ МЕДНЫХ ПОКРЫТИЙ К СТЕКЛОПЛАСТИКУ

ПОВЫШЕНИЕ АДГЕЗИИ ВАКУУМНЫХ МЕДНЫХ ПОКРЫТИЙ К СТЕКЛОПЛАСТИКУ МАШИНОСТРОЕНИЕ И МАШИНОВЕДЕНИЕ 57 УДК 678.29:66 ПОВЫШЕНИЕ АДГЕЗИИ ВАКУУМНЫХ МЕДНЫХ ПОКРЫТИЙ К СТЕКЛОПЛАСТИКУ П. Д. ПЕТРАШЕНКО Учреждение образования «Гомельский государственный технический университет

Подробнее

RU (11) (13) C2

RU (11) (13) C2 РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ (19) RU (11) 2319788 (13) C2 (51) МПК C23C14/35 (2006.01) ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ, ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ (12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ Статус:

Подробнее

1. Оптический пробой среды. 2. Ударные и тепловые нелинейные эффекты. Понятие о силовой оптике. Лучевая прочность.

1. Оптический пробой среды. 2. Ударные и тепловые нелинейные эффекты. Понятие о силовой оптике. Лучевая прочность. Лекция 6 ТЕРМООПТИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ ПРИ СВЕРХВЫСОКИХ ИНТЕНСИВНОСТЯХ СВЕТА Вопросы: 1. Оптический пробой среды.. Ударные и тепловые нелинейные эффекты. Понятие о силовой оптике. Лучевая прочность. Эффективные

Подробнее

Оптимальная защита от износа и надежное скольжение в узлах оборудования и трубопроводах

Оптимальная защита от износа и надежное скольжение в узлах оборудования и трубопроводах Оптимальная защита от износа и надежное скольжение в узлах оборудования и трубопроводах Сертифицированное качество ISO 9001 и SCC Износостойкие материалы собственного производства ABRESIST KALCOR KALOCER

Подробнее

02;04.

02;04. 12 марта 02;04 Особенности переноса распыленных атомов при нанесении пленок Ta 2 O 5 на подложки сложной пространственной конфигурации Ю.А. Быстров, В.Л. Ласка, В.А. Вольпяс, Е.А. Говако, Д.Е. Тимофеев,

Подробнее

Композиционные материалы. Классификация и требования

Композиционные материалы. Классификация и требования Композиционные материалы Классификация и требования 1. Наполнитель и матрица Композиционные материалы (композиты) представляют собой гетерофазные системы, полученные из двух или более компонентов с сохранением

Подробнее

МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ

МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ ПРОМЫШЛЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ Д.Локтев, Е.Ямашкин e.yamashkin@technopolice.ru d.loktev@technopolice.ru МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙЯ НАНЕСЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ Состав

Подробнее

Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов 73 С. Н. БЕЛЯЕВ

Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов 73 С. Н. БЕЛЯЕВ Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов 73 УДК 621. 793. 18 С. Н. БЕЛЯЕВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ВЫБОРА МАТЕРИАЛОВ И МЕТОДОВ НАПЫЛЕНИЯ УЗЛОВ ГИРОПРИБОРОВ

Подробнее

Сведения об авторах... 6 Введение. Особенности реактивного магнетронного распыления... 7

Сведения об авторах... 6 Введение. Особенности реактивного магнетронного распыления... 7 Сведения об авторах... 6 Введение. Особенности реактивного магнетронного распыления... 7 Глава 1 Причины нестабильности реактивного распыления... 8 1.1. Два стабильных состояния мишени в процессе реактивного

Подробнее

Тесты текущего контроля успеваемости по дисциплине

Тесты текущего контроля успеваемости по дисциплине Приложение Б-1 Тесты текущего контроля успеваемости по дисциплине 1. Какой процесс называют коррозией металлов? а) разрушение металлов от статических механических нагрузок; б) разрушение металлов при циклических

Подробнее

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ На правах рукописи РАБОТКИН СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ НАНЕСЕНИЕ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ОКСИДА ЦИНКА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО

Подробнее

Лабораторная работа 3 «Коррозия металлов»

Лабораторная работа 3 «Коррозия металлов» Лабораторная работа 3 «Коррозия металлов» Опыт 1. Взаимодействие цинка с серной кислотой в отсутствие и в присутствии меди Теоретическая часть Контактная коррозия вид коррозионного разрушения, который

Подробнее

Болбуков Василий Петрович

Болбуков Василий Петрович Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский государственный технологический

Подробнее

Лекция 24. Технологические операции сверления и резки металлов с помощью лазера.

Лекция 24. Технологические операции сверления и резки металлов с помощью лазера. Лекция 24. Технологические операции сверления и резки металлов с помощью лазера. 1. Лазерное сверление отверстий. Сверление отверстий заключается в удалении локально расплавленного материала под воздействием

Подробнее

1 Срок службы деталей машин и механизмов и роль поверхности. 1.1 Эксплуатационные условия работы и причины отказа деталей

1 Срок службы деталей машин и механизмов и роль поверхности. 1.1 Эксплуатационные условия работы и причины отказа деталей 1 Срок службы деталей машин и механизмов и роль поверхности 1.1 Эксплуатационные условия работы и причины отказа деталей Срок службы или долговечность Применительно к изделиям машиностроения рассматривают

Подробнее

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ

РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ООО Прикладная Электроника РУКОВОДСТВО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ APEL-IS-7CELL ТОМСК 2012 ОГЛАВЛЕНИЕ 1. ВВЕДЕНИЕ...3 2. НАЗНАЧЕНИЕ...3 3. СОСТАВ ИИ...3 4. ПРИНЦИП РАБОТЫ

Подробнее

МЕТАЛЛЫ И ПОЛУПРОВОДНИКИ: ТЕХНОЛОГИИ И ПРОЦЕССЫ

МЕТАЛЛЫ И ПОЛУПРОВОДНИКИ: ТЕХНОЛОГИИ И ПРОЦЕССЫ МЕТАЛЛЫ И ПОЛУПРОВОДНИКИ: ТЕХНОЛОГИИ И ПРОЦЕССЫ МОДУЛЬ 3. Тонкие пленки и покрытия Лекция 11 Физические методы нанесения тонких пленок. Термическое испарение. Вакуумнодуговое напыление. Методы нанесения

Подробнее

Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления

Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления На правах рукописи Пинаев Вячеслав Владимирович Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления Специальность: 05.7.06 Технология и оборудование для производства

Подробнее

ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ. Введение

ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ. Введение 24 УДК 621.865.6 О.М. Мелкозерова ОБРАЗОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР TIN В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЖЕЛЕЗА ПРИ ДЕЙСТВИИ ИОНОВ РАЗЛИЧНЫХ СОРТОВ, ЗАРЯДНОСТЕЙ И ЭНЕРГИЙ Введение Интерес к наноматериалам обусловлен возможностью

Подробнее

Особенности электронно-лучевого испарения керамики на основе оксида алюминия в форвакуумной области давлений

Особенности электронно-лучевого испарения керамики на основе оксида алюминия в форвакуумной области давлений Особенности электронно-лучевого испарения керамики на основе оксида алюминия в форвакуумной области давлений Авторы: С. С. Хващевская, студентка каф. ФЭ, А. А. Кузнецов, студент каф. ЭП, ФЭТ, ТУСУР Научный

Подробнее

УДК А.А. Черник, канд. хим. наук, доц.; Е.О. Черник; И.М. Жарский, канд. хим. наук, проф. (БГТУ, г. Минск)

УДК А.А. Черник, канд. хим. наук, доц.; Е.О. Черник; И.М. Жарский, канд. хим. наук, проф. (БГТУ, г. Минск) На границе раздела α-фаза интерметаллидные соединения цинка и железа на образцах, оцинкованных в смесях на основе гартцинка, выявлена зона повышенной травимости (рисунок 3,б). Полученные образцы успешно

Подробнее

04;10;12.

04;10;12. 04;10;12 Особенности генерации низкоэнергетичных электронных пучков большого сечения из плазменного источника электронов пеннинговского типа В.Н. Бориско, А.А. Петрушеня Харьковский национальный университет,

Подробнее

В. М. МЕДУНЕЦКИЙ, А. А. ШМИДБЕРСКАЯ

В. М. МЕДУНЕЦКИЙ, А. А. ШМИДБЕРСКАЯ 65 УДК.621.384 В. М. МЕДУНЕЦКИЙ, А. А. ШМИДБЕРСКАЯ ФОРМИРОВАНИЕ РЕГУЛЯРНЫХ МИКРОРЕЛЬЕФОВ НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ОСТРОСФОКУСИРОВАННЫМ ПУЧКОМ ТЯЖЕЛЫХ ИОНОВ Рассмотрен процесс формирования профиля канавки

Подробнее

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ На правах рукописи СОЛОВЬЕВ АНДРЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ УСТРОЙСТВА СО СКРЕЩЕННЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ И МАГНИТНЫМ ПОЛЯМИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

Подробнее

Методы получения и механизмы роста твердых тонких пленок неорганических материалов

Методы получения и механизмы роста твердых тонких пленок неорганических материалов Л9 Методы получения и механизмы роста твердых тонких пленок неорганических материалов Удивительный прогресс в микро- и оптоэлектронике, преобразовавший информационный мир за короткий период непосредственно

Подробнее

Эрозионностойкие покрытия из нитридов и карбидов металлов и их плазмохимический синтез

Эрозионностойкие покрытия из нитридов и карбидов металлов и их плазмохимический синтез ВИАМ/2009-205374 Эрозионностойкие покрытия из нитридов и карбидов металлов и их плазмохимический синтез С.А. Мубояджян доктор технических наук Июль 2009 Всероссийский институт авиационных материалов (ФГУП

Подробнее

Современные плазменные технологии

Современные плазменные технологии Современные плазменные технологии Андрей Владимирович Козырев, д.ф.-м.н., профессор, заведующий кафедрой физики плазмы Томского государственного университета, заведующий лабораторией Института сильноточной

Подробнее

Вестник науки Сибири (1)

Вестник науки Сибири (1) Рябчиков Александр Ильич, д-р физ.-мат. наук, профессор, зав. лаб. 22 Физикотехнического E-mail: ralex@tpu.ru физика плазмы, физика твердого тела, физика пучков заряженных части и укорительная техника.

Подробнее

Перспективы применения технологии микродугового оксидирования в строительстве. Москва, 6 апреля 2011 года

Перспективы применения технологии микродугового оксидирования в строительстве. Москва, 6 апреля 2011 года Перспективы применения технологии микродугового оксидирования в строительстве Москва, 6 апреля 2011 года ЗАО «МАНЭЛ» инновационная производственная компания, занимающаяся разработкой, развитием и внедрением

Подробнее

Требования к уровню освоения учебного курса

Требования к уровню освоения учебного курса Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» Ректор МФТИ УТВЕРЖДАЮ Н.Н. Кудрявцев Программа краткосрочного

Подробнее

Национальный исследовательский Томский государственный университет Борисов Дмитрий Петрович

Национальный исследовательский Томский государственный университет Борисов Дмитрий Петрович Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский Томский государственный университет На правах рукописи Борисов Дмитрий Петрович Генерация

Подробнее

Влияние режимов магнетронного напыления на оптико-физические свойства медных нанопокрытий

Влияние режимов магнетронного напыления на оптико-физические свойства медных нанопокрытий ВИАМ/2010-205694 Влияние режимов магнетронного напыления на оптико-физические свойства медных нанопокрытий В.А. Богатов С.С. Захаров П.П. Кисляков А.Г. Крынин Ю.А. Хохлов Ноябрь 2010 Всероссийский институт

Подробнее

Трехслойные наноструктуры интерференционных фильтров Фабри-Перо высокого разрешения

Трехслойные наноструктуры интерференционных фильтров Фабри-Перо высокого разрешения Трехслойные наноструктуры интерференционных фильтров Фабри-Перо высокого разрешения Денисов А.А. Руководитель: Шахнов В.А., д.т.н., проф. кафедры ИУ4 МГТУ им. Н.Э.Баумана Цель работы Цель работы: Разработка

Подробнее

ВЫБОР И НАЗНАЧЕНИЕ ДИРЕКТИВНОЙ ТЕХНОЛОГИИ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ СИЛОВЫХ АВИАКОНСТРУКЦИЙ ПО КРИТЕРИЯМ ДОЛГОВЕЧНОСТИ И ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ЦЕЛЕСООБРАЗНОСТИ

ВЫБОР И НАЗНАЧЕНИЕ ДИРЕКТИВНОЙ ТЕХНОЛОГИИ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ СИЛОВЫХ АВИАКОНСТРУКЦИЙ ПО КРИТЕРИЯМ ДОЛГОВЕЧНОСТИ И ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ЦЕЛЕСООБРАЗНОСТИ 57 УДК 9.3.03..00 Д.С. Кива, д-р техн. наук, М.Н. Быков ВЫБОР И НАЗНАЧЕНИЕ ДИРЕКТИВНОЙ ТЕХНОЛОГИИ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ СИЛОВЫХ АВИАКОНСТРУКЦИЙ ПО КРИТЕРИЯМ ДОЛГОВЕЧНОСТИ И ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ЦЕЛЕСООБРАЗНОСТИ

Подробнее

3.5. Обработка поверхностным пластическим деформированием

3.5. Обработка поверхностным пластическим деформированием 3.5. Обработка поверхностным пластическим деформированием Подобные технологии вызывают упрочнение поверхностного слоя металла в холодном состоянии (механические методы) или при нагревании (термо-механические

Подробнее

В. И. Яковлев, Е. В. Аношкина, В. В. Бузаев Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова, г. Барнаул

В. И. Яковлев, Е. В. Аношкина, В. В. Бузаев Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова, г. Барнаул УДК 6. ПОЛУЧЕНИЕ ОБРАЗЦОВ ПОВЕРХНОСТЕЙ С СЕЛЕКТИВНЫМ ПОКРЫТИЕМ ДЛЯ СОЛНЕЧНЫХ КОЛЛЕКТОРОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СОВРЕМЕННОГО ПРОИЗВОДСТВЕННОГО ОПЫТА В УСЛОВИЯХ ЛАБОРАТОРНОЙ БАЗЫ В. И. Яковлев, Е. В. Аношкина,

Подробнее

Исследование оптических свойств тонких пленок сульфида цинка и оксида цинка. Выполнила аспирант ОмГУ: Богданова Елизавета Владимировна

Исследование оптических свойств тонких пленок сульфида цинка и оксида цинка. Выполнила аспирант ОмГУ: Богданова Елизавета Владимировна Исследование оптических свойств тонких пленок сульфида цинка и оксида цинка Выполнила аспирант ОмГУ: Богданова Елизавета Владимировна Цель работы: получение экспериментальных данных об оптических свойствах

Подробнее

Автоматизация и управление вакуумным оборудованием

Автоматизация и управление вакуумным оборудованием Кафедра ФВТМ ИФВТ ТПУ Автоматизация и управление вакуумным оборудованием Модуль 4 Разработчик: Гончаренко И.М., к.т.н., доцент кафедры ФВТМ ВЫБОР И СВОЙСТВА ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ НА ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ ТВЕРДЫЕ

Подробнее

Экспериментальное исследование условий перехода в сильноточный режим разряда с полым самонакаливаемым катодом из титана в среде азота

Экспериментальное исследование условий перехода в сильноточный режим разряда с полым самонакаливаемым катодом из титана в среде азота 26 ноября 04;11 Экспериментальное исследование условий перехода в сильноточный режим разряда с полым самонакаливаемым катодом из титана в среде азота Н.В. Гаврилов, А.И. Меньшаков Институт электрофизики

Подробнее

Латунный металлопрокат отличается хорошей коррозионной стойкостью и высокой прочностью

Латунный металлопрокат отличается хорошей коррозионной стойкостью и высокой прочностью Латунь, которая хорошо известна и активно применяется уже на протяжении многих лет, является сплавом меди с цинком. Изобретателем этого материала с целым рядом уникальных характеристик считается англичанин

Подробнее

Модернизированные плазмооптические приборы для генерации и управления сильноточными пучками тяжёлых ионов (фундаментальные результаты и приложения)

Модернизированные плазмооптические приборы для генерации и управления сильноточными пучками тяжёлых ионов (фундаментальные результаты и приложения) Модернизированные плазмооптические приборы для генерации и управления сильноточными пучками тяжёлых ионов (фундаментальные результаты и приложения) А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, А.Н. Евсюков, И.М.

Подробнее

Руководство пользователя

Руководство пользователя ООО "Прикладная Электроника" Руководство пользователя для протяженной магнетронной распылительной системы с вращающимся цилиндрическим катодом Пожалуйста, внимательно ознакомьтесь с настоящим руководством

Подробнее

Цель работы - исследование влияния параметров сильноточного импульсного магнетронного распыления на структуру, свойства и итоговые эксплуатационные

Цель работы - исследование влияния параметров сильноточного импульсного магнетронного распыления на структуру, свойства и итоговые эксплуатационные ВВЕДЕНИЕ Работа посвящена экспериментальному поиску и теоретическому обоснованию путей управления свойствами ультратонких пленок меди, наносимых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления.

Подробнее

ООО «НОРМИН» Производство порошков титана и титановых сплавов для аддитивных технологий

ООО «НОРМИН» Производство порошков титана и титановых сплавов для аддитивных технологий ООО «НОРМИН» Производство порошков титана и титановых сплавов для аддитивных технологий Назначение презентации пригласить потенциальных партнеров к сотрудничеству для: Ê нахождения оптимизированных композиций

Подробнее

УДК МЕХАНИЗМ НАЧАЛЬНОГО ЭТАПА РОСТА ПЛЕНОК CR, ПОЛУЧЕННЫХ ПРИ ПОМОЩИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ПОСТОЯННОМ ТОКЕ

УДК МЕХАНИЗМ НАЧАЛЬНОГО ЭТАПА РОСТА ПЛЕНОК CR, ПОЛУЧЕННЫХ ПРИ ПОМОЩИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ПОСТОЯННОМ ТОКЕ УДК 533.9 МЕХАНИЗМ НАЧАЛЬНОГО ЭТАПА РОСТА ПЛЕНОК CR, ПОЛУЧЕННЫХ ПРИ ПОМОЩИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ПОСТОЯННОМ ТОКЕ В.И.Перекрестов, С.Н.Кравченко Сумский государственный университет, г.сумы Методом

Подробнее

Секция: физика Университетский Лицей 1511 предуниверситария НИЯУ МИФИ 115522, г. Москва Пролетарский проспект д. 6, корп. 3 тел: (495) 788-56-99, e-mail: sch_1511@gor.educom.ru Осаждение пористых кремниевых

Подробнее

Аддитивное производство Когда покрытие становится частью конструкции

Аддитивное производство Когда покрытие становится частью конструкции Аддитивное производство Когда покрытие становится частью конструкции Балдаев Сергей Львович s.baldaev@tspc.ru ООО «Технологические системы защитных покрытий» Содержание 1. Перспективные направления аддитивных

Подробнее

Физика. Простые задачи. Задача 1. Задача 2

Физика. Простые задачи. Задача 1. Задача 2 Физика Простые задачи Задача 1 Для элементного анализа пробу наночастиц подготавливают следующим образом: сперва её испаряют, а затем ионизируют электронным пучком. Температура кипения серебра T = 2485

Подробнее

О возможности электронно-лучевой обработки диэлектриков плазменным источником электронов в форвакуумной области давлений

О возможности электронно-лучевой обработки диэлектриков плазменным источником электронов в форвакуумной области давлений 12 июня 04;10 О возможности электронно-лучевой обработки диэлектриков плазменным источником электронов в форвакуумной области давлений В.А. Бурдовицин, А.С. Климов, Е.М. Окс Томский государственный университет

Подробнее

МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕДИЦИНСКИХ ИМПЛАНТАНТОВ МИКРООКСИДИРОВАНИЕМ ТИТАНОВЫХ МАТРИЦ УПРОЧНЕННЫХ КАРБИДОМ ТИТАНА

МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕДИЦИНСКИХ ИМПЛАНТАНТОВ МИКРООКСИДИРОВАНИЕМ ТИТАНОВЫХ МАТРИЦ УПРОЧНЕННЫХ КАРБИДОМ ТИТАНА МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕДИЦИНСКИХ ИМПЛАНТАНТОВ МИКРООКСИДИРОВАНИЕМ ТИТАНОВЫХ МАТРИЦ УПРОЧНЕННЫХ КАРБИДОМ ТИТАНА Выполнил: Инан Етхем Чагри, гр. ФК-11 Руководитель: к.т.н., проф., Степанчук Анатолий Николаевич

Подробнее

Структура, механические и фрикционные свойства пленок нитрида титана, подвергнутых облучению непрерывными потоками ионов

Структура, механические и фрикционные свойства пленок нитрида титана, подвергнутых облучению непрерывными потоками ионов Письма в ЖТФ, 1998, том 24, 3 12 февраля 05.1;10 Структура, механические и фрикционные свойства пленок нитрида титана, подвергнутых облучению непрерывными потоками ионов И.Г. Романов, И.Н. Царева, Л.А.

Подробнее

Московский Авиационный Институт (государственный технический университет) Расчет основных параметров СПД

Московский Авиационный Институт (государственный технический университет) Расчет основных параметров СПД Московский Авиационный Институт (государственный технический университет) Курсовая работа на тему: Расчет основных параметров СПД Выполнил: студент гр. 02-412 Кутьин А.Ю. Проверил: Хартов С. А. Москва,

Подробнее

Электрические вводные изоляторы и изоляционные втулки Металлокерамические изделия

Электрические вводные изоляторы и изоляционные втулки Металлокерамические изделия Электрические вводные изоляторы и изоляционные втулки Металлокерамические изделия FRIALIT FRIALIT это зарегистрированная торговая марка для изделий и компонентов из оксидной керамики, изготовленных немецкой

Подробнее

Исследование поверхностного модифицирования твердым сплавом группы ВК и ТК лазерным локальным легированием

Исследование поверхностного модифицирования твердым сплавом группы ВК и ТК лазерным локальным легированием Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Комсомольский-на-Амуре государственный технический

Подробнее

ГОРЕНИЕ И ПЛАЗМОХИМИЯ, 2014, том 12, 3, с ИОННОЕ - И ИОННО-ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ В ПЛОТНОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА

ГОРЕНИЕ И ПЛАЗМОХИМИЯ, 2014, том 12, 3, с ИОННОЕ - И ИОННО-ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ В ПЛОТНОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА УДК: 539.141;537.868.531, 2014, том 12, 3, с. 189-193 ИОННОЕ - И ИОННО-ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ В ПЛОТНОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА Амиров И.И., Изюмов М.О., Наумов В.В. Ярославский Филиал

Подробнее

СТРУКТУРА И ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ НАПЫЛЕННЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМЫ

СТРУКТУРА И ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ НАПЫЛЕННЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМЫ Коробов Ю.С., Шумяков В.И., Филиппов М.А., Невежин С.В., Жилин А.С. ФГАОУ ВПО «Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина», г. Екатеринбург СТРУКТУРА И ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ

Подробнее

Электрические вводы и детали для изоляции

Электрические вводы и детали для изоляции Техническая статья Апрель 2014 Dipl.-Min. Хельмут Майер FRIALIT -DEGUSSIT Оксидная Керамика Электрические вводы и детали для изоляции 1. Введение Электрические вводы и детали для изоляции являются важным

Подробнее

ООО «Интехно-групп»

ООО «Интехно-групп» ООО «Интехно-групп» www.platings.ru Тел./Факс: (95) 1-8-9 E-mail: platings@yandex.ru 1. ОПИСАНИЕ РАЗРАБОТКИ Электролитическое хромирование является одним из наиболее распространенных гальванических процессов.

Подробнее

Упрочнение методами ионно-плазменной обработки

Упрочнение методами ионно-плазменной обработки 247 сохраняется исходная шероховатость упрочняемой поверхности, но не обеспечивается выполнение повышенных требований к твердости и износостойкости упрочненного слоя, образуемого в результате одновременного

Подробнее

МИШЕНИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ

МИШЕНИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ МИШЕНИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ Колесникова И.Г., Серба В.И., Кузьмич Ю.В., Фрейдин Б.М., Коротков В.Г. Ворончук С.И. Институт химии Кольского научного центра РАН В настоящее

Подробнее

САМОСТОЯТЕЛЬНЫЙ ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ ПРИ ТОКАХ В ДЕСЯТКИ АМПЕР

САМОСТОЯТЕЛЬНЫЙ ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ ПРИ ТОКАХ В ДЕСЯТКИ АМПЕР ФИЗИКА ПЛАЗМЫ,, том 8, 7, с. 69 6 УДК 7.:.9.7:.9.8 НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА САМОСТОЯТЕЛЬНЫЙ ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ ПРИ ТОКАХ В ДЕСЯТКИ АМПЕР г. И. В. Лопатин, П. М. Щанин, Ю.

Подробнее

О ФАКТОРАХ, ВЛИЯЮЩИХ НА УСТОЙЧИВОСТЬ ГОРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ДУГИ В ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЕТЯХ 6 35 кв

О ФАКТОРАХ, ВЛИЯЮЩИХ НА УСТОЙЧИВОСТЬ ГОРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ДУГИ В ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЕТЯХ 6 35 кв УДК 621.3 О ФАКТОРАХ, ВЛИЯЮЩИХ НА УСТОЙЧИВОСТЬ ГОРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ДУГИ В ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЕТЯХ 6 35 кв Трофимова С.Н. Южно-Уральский государственный университет, филиал в г. Златоусте, Россия Известно,

Подробнее

Методы уменьшения капельной фазы в установках с эрозионными генераторами плазмы

Методы уменьшения капельной фазы в установках с эрозионными генераторами плазмы УДК 621.793 Методы уменьшения капельной фазы в установках с эрозионными генераторами плазмы Кромов П.В., студент Россия, 105005, г. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра «Плазменные энергетические установки»

Подробнее

ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫМИ МЕТОДАМИ

ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫМИ МЕТОДАМИ Основными достоинствами спирального компрессора являются: надежность; низкий уровень шума, в том числе и во время пуска (начала работы); низкая вибрация; компактность; небольшой вес компрессора; низкое

Подробнее

4.5. Дуговая сварка в среде защитных газов

4.5. Дуговая сварка в среде защитных газов 4.5. Дуговая сварка в среде защитных газов При сварке в защитном газе электрод, зона дуги и сварочная ванна защищены струёй защитного газа. В качестве защитных газов применяют инертные газы (аргон и гелий)

Подробнее

УДК ВЛИЯНИЕ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИОННОГО ОТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАКИРУЮЩЕГО СЛОЯ БИМЕТАЛЛА

УДК ВЛИЯНИЕ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИОННОГО ОТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАКИРУЮЩЕГО СЛОЯ БИМЕТАЛЛА УДК 621.771.8 ВЛИЯНИЕ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИОННОГО ОТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАКИРУЮЩЕГО СЛОЯ БИМЕТАЛЛА Н.Т. Карева, А.П. Пелленен, А.А. Хабибуллин Целью работы явилось исследование влияния отжига в протяжной

Подробнее

МОДЕЛЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР В КОМПОЗИЦИИ «МЕТАЛЛИЗАЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ ОСНОВА» ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ СЖАТОЙ ДУГИ

МОДЕЛЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР В КОМПОЗИЦИИ «МЕТАЛЛИЗАЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ ОСНОВА» ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ СЖАТОЙ ДУГИ УДК 621.793.79 Верхорубов В. С., Невежин С. В., Коробов Ю. С. Уральский федеральный университет, г. Екатеринбург Щицын Ю. Д., Неулыбин С. Д. ПНИПУ, г. Пермь МОДЕЛЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР В КОМПОЗИЦИИ

Подробнее

КАТАЛОГ ПРОДУКЦИИ ЧАСТЬ II: Защитная керамическая арматура для термоэлектрических преобразователей

КАТАЛОГ ПРОДУКЦИИ ЧАСТЬ II: Защитная керамическая арматура для термоэлектрических преобразователей Общество с ограниченной ответственностью «АУСТЕНИТ» КАТАЛОГ ПРОДУКЦИИ ЧАСТЬ II: Защитная керамическая арматура для термоэлектрических преобразователей 2010 II. Защитная керамическая арматура для термопар

Подробнее

СОВРЕМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ. МАТЕРИАЛЫ С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ ФОРМЫ

СОВРЕМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ. МАТЕРИАЛЫ С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ ФОРМЫ СОВРЕМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ АВИАЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ. МАТЕРИАЛЫ С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ ФОРМЫ Абдулкаев Э.Р., Осипов Е.В. Оренбургский государственный университет Аэрокосмический институт, г. Оренбург Коррозионноэррозионностойкие

Подробнее