РУКОВОДСТВО ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ

Save this PDF as:
 WORD  PNG  TXT  JPG

Размер: px
Начинать показ со страницы:

Download "РУКОВОДСТВО ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ"

Транскрипт

1 РУКОВОДСТВО ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ ВАКУУММЕТР МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ 7E TELEVAC ПОДРАЗДЕЛЕНИЕ КОМПАНИИ FREDERICKS 2400 PHILMONT AVENUE HUNTINGDON VALLEY, PA 19006

2 2 1. ОПИСАНИЕ И НАЗНАЧЕНИЕ. 1.1 Запатентованные ионные вакуумметры магнитные электроразрядные TELEVAC имеют доказано высокую точность при ультра-высоком вакууме. Они чрезвычайно чувствительны и сохраняют свою точность при намного более низком давлении. В отличие от ионных вакуумметров с нитью накала, которые не способны выдерживать высокие всплески давления без повреждения нити, вакуумметры 7 E невосприимчивы к внезапным притокам газа. Конструкция измерительной трубки 7E позволяет быстро ее разбирать и обеспечивает длительный срок службы. 1.2 Характеристики Таблица 1. Наименование характеристик Модификация вакуумметра 7B2 7F 7Е 7FС 7FCS Диапазон показаний, Па от 1, до 1, от 1, до 1,3 от 1, до 1, от 1, до 1,3 от 1, до 1,3 Диапазон измерений, Па от 1, до от до от 1, до от до от до Пределы допускаемой относительной погреш-ности измерений, % от измеряемой величины ±60 ±60 ±60 ±60 ±60 Потребляемая мощность, Вт датчика контроллера Напряжение питания контроллера от 115/ / / / /220

3 3 сети переменного тока, В Выходной аналоговый сигнал контроллера, В Диапазон рабочих температур, С Предельное допускаемое давление (перегрузка), Па Средняя наработка до метрологического отказа, ч х10 6 1х10 6 1х10 6 1х10 6 1х Габаритные размеры, мм датчика длина диаметр корпуса контроллера длина ширина выс ота ММ200 -МС x 210 x x 185 x x 210 x x 185 x x 210 x x 185 x x 210 x x 185 x x 210 x 92 -

4 4 Масса, кг, не более датчика контроллера -ММ200 -МС ,4 2, ,4 2, ,4 2, ,4 2, ,4 - Плата расширения 7B2 7F 7Е 7FС 7FCS -ММ200 p/n p/n p/n p/n p/n МС300 p/n A/7B, p/n A/7B p/n A/7F, p/n A/7F p/n A/7E, p/n A/7E p/n A/7F, p/n A/7F - Атмосферное давление, кпа от 84 до 106,7 от 84 до 106,7 от 84 до 106,7 от 84 до 106,7 от 84 до 106,7 Относительная влажность воздуха, % до 80 до 80 до 80 до 80 до 80 ПО контроллера: см. таблицу 2 см. таблицу 2 см. таблицу 2 см. таблицу 2 см. таблицу 2 Таблица 2. Наименование ПО Идентифика- ционное наименование ПО Номер версии (идентификационный номер) ПО Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО ММ200 MD234.hex 2.34 B300 Intel.hex

5 5 МС300 4A/7F FRDV594.S N/A MC300 2A/7B FRDV592B.S N/A Motorola hex MC300 4A/7B FRDV594B.S N/A MC300 2A/7E FRDV592F.S N/A 1.3 Контроллеры и измерение. Трубка вакуумметра магнитные электроразрядные измеряет абсолютное давление путем определения ионного тока, полученного благодаря ионизации остаточных газов внутри трубки (вакуумной камеры). Ионизация, в свою очередь, происходит, благодаря высокому напряжению (несколько киловольт), подаваемому контроллерами. Вакуумметры 7E подключаются при помощи соединительных кабелей SHV к контроллерам, которые подают высокое напряжение к анодам и измеряют ионный ток, преобразуя его в показания давления. Многие приборы Televac совместимы с трубками магнитные электроразрядные 7E. Обратите внимание на устанавливаемые в панель приборы MM200 или MC300 со станциями 7E, которые сочетают вакуумметры магнитные электроразрядные 7E с термопарой или вакуумметрами конвекционного типа, что позволяет защитить трубку магнитные электроразрядные и охватить диапазон давления от атмосферного до ультравысокого вакуума. Кроме того, трубки 7E используются в устройствах с удаленным управлением серии 7ER series в тех сферах, где не требуется получение показаний приборов традиционным способом с установкой в панель. 1.4 Маркировка. Номер изделия, модель, а также название производителя указаны на наклейке. На магнитную поверхность трубки вакуумметра должен быть наклеен предупреждающий ярлык. 2.1 Основная информация. 2. ПРИНЦИП РАБОТЫ В модели Televac 7E используется запатентованная технология вакуумметра с двойным обращенным магнетроном, что помогает создавать прочные и функциональные вакуумные вакуумметры с широким диапазоном измерений, доказанной точностью и не имеющей равных износостойкостью в высоком вакууме.

6 6 В рамках уникальной конструкции с двойным обращенным магнетроном, противоположные магниты удерживают две отдельных ячейки обращенных магнетронов, что повышает вероятность ионизации. Схема двойного обращенного магнетрона показана на рис.1. Противоположные магниты поддерживают два отдельных магнитных поля, создавая две отдельных ячейки обращенных магнетронов. Вероятность ионизации повышается, так как ионизированная частица, выходящая из одной ячейки, имеет 50% шанс попадания в другую ячейку. Электронные токи, по существу, удваивают токи, создаваемые одной ячейкой обращенного магнетрона, обеспечивая лучшее соотношение сигнала к шуму и делая возможным увеличение диапазона измерения до 10-8 Torr. Двойной обращенный магнетрон обеспечивает самый передовой подход к практическому измерению вакуума. Затем ионизационный ток, пропорциональный плотности молекул, конвертируется в показание давления. Учитывая, что для различных газов вероятность ионизации разная, вакуумметр 7E зависим от газа. 2.2 Конструкция и характеристики. Рис.1 Когда высокое рабочее напряжение подается к электродам, происходит следующее: 1) Происходит излучение электронов на катоде вакуумметра или на газовой фазе. В большинстве случаев, данный процесс случайным образом запускается

7 7 космическим лучом, однако также важными могут быть такие воздействующие факторы, как радиоактивность, фотоны высокой энергии или электроны в поле. 2) Электрон перемещается по скрещенным магнитным и электрическим полям вакуумметра через один или более короткий циклоидный путь приблизительно несколько миллиметров в длину. При прохождении части циклоида данный первичный электрон может обладать достаточной энергией для ионизации молекулы газа путем столкновения. Вероятность такого столкновения пропорциональна плотности газа. Если происходит такое столкновение, то два электрона будут доступны для повторного разгона в пространстве между электродами. Данный процесс повторяется и ток образуется по экспоненте. 3) В конечном итоге ток достигает значения, ограниченного пространственным зарядом, на уровне, который соответствует давлению. 2.3 Установка и эксплуатация вакуумметров Подключите вакуумметр к вакуумной системе. Равномерно закрутите шесть болтов фланца. Вакуумметр можно устанавливать в любом положении. Магнит должен быть на расстоянии не менее 1" от любых магнитных материалов. Кроме того, при установке вакуумметра учитывайте, что поле магнита вакуумметра может нарушать пучки заряженных частиц в вакуумной системе. Перед включением питания установите в разъеме вакуумметра и разъеме каркаса высоковольтный соединитель SHV Убедитесь в отсутствии утечек. Подайте питание к соответствующему контроллеру. Пока давление ниже 1x10-2 Torr, выход сигнала будет соответствовать значениям, зависящим от выбранного выхода на контроллере. 3.1 Ограничения 3. ОГРАНИЧЕНИЯ И СФЕРЫ ПРИМЕНЕНИЯ Рабочая температура: от +15 до + 50 C Максимальная температура прогрева: 200 C Максимальное избыточное давление: 10 атм. Во избежание чрезмерного травления и загрязнения, не используйте трубку при давлении выше 5x10-4 Torr в течение длительного времени. 3.2 Сферы применения Осаждение оптических и функциональных пленок Дистиллирование химикатов с низким давлением паров Электронные микроскопы Сублимационная сушка

8 8 Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели Физика высоких энергий Производство ламп, приборов освещения и лазерных продуктов. Масс-спектрометры Металлургические процессы Производство приборов ночного видения / электрооптических детекторов. Плазменное осаждение Стерилизация 4. Техническое обслуживание 4.1 За исключением периодической очистки загрязненной трубки вакуумметра, никакого технического обслуживания не требуется. Время между очистками трубок зависит от состояния вакуумной системы. ОЧИСТКА ТРУБОК ВАКУУММЕТРОВ (МАГНИТНЫЕ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЕ) Расписание очистки зависит от времени/частоты цикла и количества загрязняющих веществ, присутствующих в производственном процессе. Каждое предприятие должно составлять расписание на основе собственного опыта. Когда расписание составлено, рекомендуется соблюдать следующую процедуру: 1. Снимите вакуумметр с вакуумной камеры. 2. Открутите крышку, чтобы открыть анодное устройство (чтобы открыть крышку, поворачивайте ее против часовой стрелки). 3. Аккуратно потяните анодное устройство вверх, чтобы отделить его от корпуса. 4. Снимите уплотняющее кольцо с корпуса, соблюдая осторожность, чтобы не поцарапать его седло. Протрите кольцо безворсовой тканью и убедитесь в его целостности (отсутствие трещин или разрывов). Оно должно быть круглым и не расплющенным. 5. Продуйте всё анодное устройство стеклянными шариками под давлением 30 psi, стараясь не повредить стеклянный проходной канал. (Если обнаружен эффект радуги, то возможно наличие трещины в проходном канале, и анодное устройство необходимо заменить. 6. Продуйте корпус стеклянными шариками, сосредоточившись на зонах полюсного наконечника и кольцевого уплотнения. Очистите остальные внутренние части. Если конец трубки с резьбой необходимо очистить, то его также можно продуть шариками.

9 9 7. После очистки выдуйте остатки шариков или продуйте сухим воздухом. Убедитесь, что все металлические частицы удалены из зоны полюсного наконечника. 8. Смажьте кольцевое уплотнение смазкой Apiezon L или M, (смазка, одобренная для использования в вакууме). НЕ НАНОСИТЕ СЛИШКОМ МНОГО СМАЗКИ. Кольцевое уплотнение должно блестеть. 9. Установите кольцевое уплотнение в корпус. 10. Установите анодное устройство в корпус после установки кольцевого уплотнения. 11. Вкрутите крышку и затяните рукой. 12. Установите в вакуумную камеру. 13. После схватывания уплотнения резьбы, оставьте трубку на дегазацию на 1 2 часа при высоком вакууме. 4.2 Безопасность. НАЧИНАЙТЕ РАБОТУ С ПРОЧТЕНИЯ ВАЖНЫХ ИНСТРУКЦИЙ ПО БЕЗОПАСНОСТИ И ПРИМЕЧАНИЙ, которые собраны здесь для вашего удобства и повторяются с дополнительной информацией в соответствующих местах данной инструкции В данной инструкции слово продукт относится к устройству 7E и всем его одобренным частям и вспомогательным устройствам. ПРИМЕЧАНИЕ: данные инструкции не предусматривают и не могут предусмотреть всех возможных ситуаций, которые могут возникнуть в связи с установкой, эксплуатацией или техническим обслуживанием данного продукта. Если вам требуется дополнительная помощь, свяжитесь с компанией Televac по адресу, указанному на главной странице данной инструкции. Данный продукт был сконструирован и протестирован для обеспечения безопасной службы при условии, что он установлен, эксплуатируется и обслуживается в строгом соответствии с данными инструкциями по технике безопасности. Меры безопасности необходимо соблюдать на всех этапах эксплуатации, установки и обслуживания данного продукта. Несоблюдение данных мер безопасности или конкретных предупреждений, содержащихся в данной инструкции, нарушает стандарты безопасности конструкции, производства и назначения прибора. Компания Televac снимает с себя всю ответственность за несоблюдение данных требований клиентом.

10 10 ПРОЧТИТЕ инструкции перед началом использования продукта прочтите все инструкции по технике безопасности и эксплуатации. СОХРАНИТЕ инструкции сохраните инструкции по технике безопасности и эксплуатации для использования в будущем. ОБРАЩАЙТЕ ВНИМАНИЕ на предупреждения соблюдайте все предупреждения по продукту и инструкции по эксплуатации. СОБЛЮДАЙТЕ инструкции соблюдайте все инструкции по эксплуатации и техническому обслуживанию. ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА не используйте вспомогательные устройства, которые не рекомендованы в данной инструкции, в противном случае для восстановления нормальной работы продукта может потребоваться техник. Данные предупреждающие символы в настоящей инструкции или на задней панели продукта означают предостережения о личной безопасности, об опасности повреждения имущества или опасности поражения током. Внимательно прочтите данные инструкции. Несоблюдение данных инструкций может привести к получению серьезных травм, в том числе с летальным исходом, или повреждению имущества. Информация о техническом обслуживании и ремонте в данной инструкции предназначена для квалифицированного обслуживающего персонала. Во избежание поражения током, не выполняйте процедуры, описанные в данной инструкции, а также техническое обслуживание данного продукта, если вы не обладаете достаточной квалификацией. В целях уменьшения риска пожара или удара током, берегите данный продукт от воздействия дождя или влаги. 4.3 Калибровка Все приборы откалиброваны на заводе. Дополнительная калибровка на предприятии клиента не требуется. Для обеспечения надежности калибровки в будущем, необходимо иметь эталонную вакуумную систему с точным давлением.

11 11 Для такой калибровки прибор, сенсорную трубку и кабель необходимо вернуть на завод для повторной сертификации. Однако если проверка вакуумной калибровки должна быть выполнена на предприятии клиента, то с оборудованием, точность измерений которого должна быть сертифицирована, должен работать только опытный техник по электронному оборудованию, обученный выполнению вакуумной калибровки. Установите трубку вакуумметра холодным катодом 7E в вакуумную систему. Подайте питание к контроллеру Меры предосторожности. Во время сборки, перемещения, тестирования и хранения данного электронного устройства необходимо использовать защиту от электростатического разряда. На рабочей поверхности и на полу в зоне использования должны устанавливаться заземленные платформы, защищающие от статического электричества. Для предотвращения повреждений, за исключением времени тестирования, подсистемы должны быть постоянно заключены в оболочку, защищающую от статического электричества. Нагнетатель ионизирующего воздуха должен использоваться каждый раз при изъятии модуля из защитной оболочки. ПРИМЕЧАНИЕ: Если все электронные устройства находятся внутри закрытого корпуса, то необходимость в ношении заземляющего браслета отсутствует. Условия зоны тестирования калибровки. Нормальная комнатная температура, влажность. Начиная калибровку, записывайте фактические значения в сертификате. Стандарты/оборудование, используемое для калибровки. Стандарт: прослеживаемый эталонный калибр NIST Вольтметр или мультиметр. Примечание: перед началом проверьте калибровку стандартов. Первичная настройка. Отрегулируйте (при выключенном питании) стрелку измерительного прибора по последней линии слева, используя отметку механического нуля прибора. (При использовании цифрового дисплея регулировка не требуется.) Установите трубку магнитные электроразрядные на вакуумную систему и откачайте воздух до 10-7 Torr.

12 12 Подайте питание к контроллеру при помощи кабеля питания, а затем подключите кабель холодного катода от контроллера к тестируемой трубке. Перед снятием показаний включите трубку (включите высокое напряжение) и оставьте ее на несколько часов для разогрева. Процедура калибровки Когда трубка разогреется, сравните показания трубки с показаниями эталонного вакуумметра. При необходимости, отрегулируйте до 10-3 и 10-5 Torr. Заполните сертификат калибровки и нанесите наклейку с информацией об успешной калибровке на соответствующие устройства. В случае с аналоговыми устройствами, поместите пломбу "недействительно, если пломба нарушена" или эквивалентную на ноль устройства. Выключите устройство и отсоедините все кабели и шнуры питания. 4.4 Устранение неисправностей Сопротивление между центральным электродом и землей должно превышать 400 ГигаОм в противном случае измерительная трубка (включая изолятор) нуждается в чистке. ПРИМЕЧАНИЕ: Если устройства всё равно не работают, то верните их на завод для ремонта. 5. ХРАНЕНИЕ Вакуумметры следует хранить в оригинальной упаковке в сухом проветриваемом помещении при температуре между -15 o C и 45 o C. 6. ТРАНСПОРТИРОВКА Защищайте внутреннюю поверхность трубки от загрязнений для транспортировки всегда устанавливайте защитные колпачки на верхнюю и нижнюю часть трубки. Для тарнспортировки используйте заводствкую упаковку. ИНФОРМАЦИЯ ДЛЯ ЗАКАЗА Вакуумметры: Холодный катод 7E с трубкой 1, Код детали

13 13 Холодный катод 7E с NW25K, Код детали Холодный катод 7E с NW40K, Код детали Холодный катод 7E с соединением Conflat 2.75, Код детали Контроллеры и модули: MM200 Код детали (базовое устройство) (модуль 7E) MC300 Код детали (комбинация 2A и 7E) ; (комбинация 4A с 7E) Вакуумный вакуумметр MP7ER Код детали Серия XXX